[發明專利]一種顯微鏡焦點偏移測量設備

在審

• 申請號: 201711051473.4
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN107621356A
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發明（設計）人: 李輝;簡俊明;文剛;金鑫;朱雨;趙星羽;朱茜
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州生物醫學工程技術研究所
• 主分類號: G01M11/04
• 分類號: G01M11/04
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司32232
• 代理人: 傅靖

1.一種顯微鏡焦點偏移測量設備，其特征在于，包括：

激光器，發射光束；

空間濾波模塊，對光束進行濾波處理；

可調小孔，調整視場光闌；

縮束模塊，縮小光束的直徑；

分束鏡，分成透射與反射兩束光；

圖像傳感器，獲取光斑在圖像傳感器上的位移；

所述光束由激光器發出，依次經過空間濾波模塊、可調小孔、縮束模塊、分束鏡和顯微鏡的物鏡，經物鏡匯聚后經過蓋玻片的上下表面的反射行成兩條光束，兩條光束依次經過物鏡、分束鏡的透射成像在圖像傳感器上。

2.根據權利要求1所述的一種顯微鏡焦點偏移測量設備，其特征在于：所述圖像傳感器采用線陣CCD。

3.根據權利要求1所述的一種顯微鏡焦點偏移測量設備，其特征在于：所述空間濾波模塊由兩塊中心軸重合布置的透鏡以及位于兩塊透鏡之間的一針孔構成。

4.根據權利要求1所述的一種顯微鏡焦點偏移測量設備，其特征在于：所述縮束模塊為兩塊中心軸重合布置的透鏡構成。

5.根據權利要求1所述的一種顯微鏡焦點偏移測量設備，其特征在于：所述圖像傳感器與分束鏡之間設置有聚焦透鏡。

6.根據權利要求1所述的一種顯微鏡焦點偏移測量設備，其特征在于：所述空間濾波模塊與縮束模塊之間設有第一反射鏡，所述分束鏡與物鏡之間設有第二反射鏡

7.根據權利要求6所述的一種顯微鏡焦點偏移測量設備，其特征在于：所述可調小孔具備沿空間濾波模塊與第一反射鏡間連線方向的平移機構。

8.根據權利要求2所述的一種顯微鏡焦點偏移測量設備，其特征在于：所述線陣CCD連接有數據存儲和處理模塊。

9.根據權利要求8所述的一種顯微鏡焦點偏移測量設備，其特征在于：在粗略定位聚焦時，數據存儲和處理模塊首先獲取線陣CCD整體采集的圖像，根據多個表面反射光斑來判斷顯微鏡焦點在樣品空間的位置。

10.根據權利要求9所述的一種顯微鏡焦點偏移測量設備，其特征在于：在精確定位聚焦時，通過對線陣CCD區域的圖像獲取所需要表面發射光斑的光強分布，對區域內的光強使用加權平均算法來實現焦點漂移測量。