[發明專利]指狀交叉背接觸太陽電池的制備方法在審
| 申請號： | 201711050571.6 | 申請日： | 2017-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN108039375A | 公開（公告）日： | 2018-05-15 |
| 發明（設計）人： | 李華;靳玉鵬 | 申請（專利權）人： | 泰州隆基樂葉光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/0216 | 分類號： | H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/0236;H01L31/068;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京正聯知識產權代理有限公司 32243 | 代理人： | 文雯 |
| 地址： | 225300 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 交叉 接觸 太陽電池 制備 方法 | ||
1.一種指狀交叉背接觸太陽電池的制備方法，其特征在于：包括以下步驟，
步驟1、對硅基底進行去損傷和清洗過程；
步驟2、在背面分別形成局域發射極和背表面場；
步驟3、前表面織構化；
步驟4、前表面場制備；
步驟5、正面鈍化減反射及背面鈍化；
步驟6、在背面圖形化形成包含導電材料的電極漿料層；
步驟7、進行第一熱處理過程；
步驟8、進行第二熱處理過程，第二熱處理過程采用激光局域輻照處理過程，激光局域輻照處理過程為在電極漿料層上進行局域輻照，電極漿料層經過激光輻照的區域穿透介質膜和硅基底直接形成接觸，未經過激光輻照的區域不穿透介質膜，電極漿料層上經過輻照區域的面積小于電極漿料層的面積。
2.如權利要求1所述的指狀交叉背接觸太陽電池的制備方法，其特征在于：步驟1-5中的各步驟進行一次或多次。
3.如權利要求1所述的指狀交叉背接觸太陽電池的制備方法，其特征在于：第一熱處理過程使用的峰值溫度為500~750℃。
4.如權利要求1所述的指狀交叉背接觸太陽電池的制備方法，其特征在于：激光局域輻照處理過程使用的激光器的波長是300~1100nm。
5.如權利要求1-4任一項所述的指狀交叉背接觸太陽電池的制備方法，其特征在于：激光局域輻照處理過程的光斑行進方向采用沿著柵線方向進行或垂直于柵線方向進行。
6.如權利要求1-4任一項所述的指狀交叉背接觸太陽電池的制備方法，其特征在于：激光輻照方法中，激光輻照的光斑大小采用小于或等于太陽能電池柵線寬度的光斑進行掃描式輻照，或者采用大于太陽能電池柵線的寬度進行掃描式輻照，輻照次數采用一次以上。
7.如權利要求1-4任一項所述的指狀交叉背接觸太陽電池的制備方法，其特征在于：在電極漿料層上經過激光輻照的區域不連續。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
