[發(fā)明專利]一種類單晶籽晶的鋪設(shè)裝置及設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711049767.3
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN107630250A
• 公開（公告）日: 2018-01-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳志軍;李林東;曾先平;盧亮;蘇騰;金浩
• 申請（專利權(quán)）人: 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
• 主分類號: C30B11/14
• 分類號: C30B11/14;C30B28/06
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 羅滿

1.一種類單晶籽晶的鋪設(shè)裝置，其特征在于，包括控制器、升降支架、真空吸盤、氣泵及輸氣管道；所述控制器的控制端分別與所述氣泵的驅(qū)動端和所述升降支架的驅(qū)動端連接，所述氣泵的輸出端與所述輸氣管道的輸入端連接，所述輸氣管道的輸出端與所述真空吸盤的通氣口連接；所述真空吸盤的通氣口端與所述升降支架的移動端連接；所述真空吸盤的底部具有多個吸盤區(qū)域，每個所述吸盤區(qū)域?qū)?yīng)一個籽晶，每個所述吸盤區(qū)域至少設(shè)有一個吸盤孔；所述控制器用于控制所述升降支架帶動所述真空吸盤進(jìn)行上升或下降運(yùn)動，以便所述真空吸盤將預(yù)先鋪設(shè)的籽晶陣列移送至坩堝底部，所述籽晶陣列為多個籽晶無縫鋪設(shè)而成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的類單晶籽晶的鋪設(shè)裝置，其特征在于，所述氣泵為電動氣泵。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的類單晶籽晶的鋪設(shè)裝置，其特征在于，還包括可移動的搬運(yùn)車，所述控制器、所述氣泵及所述升降支架均設(shè)置于所述搬運(yùn)車上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的類單晶籽晶的鋪設(shè)裝置，其特征在于，所述搬運(yùn)車中還設(shè)置有配重物。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的類單晶籽晶的鋪設(shè)裝置，其特征在于，還包括吸盤支架，所述真空吸盤的通氣口端通過所述吸盤支架與所述升降支架的移動端連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的類單晶籽晶的鋪設(shè)裝置，其特征在于，所述輸氣管道設(shè)置于所述吸盤支架的內(nèi)部。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任意一項所述的類單晶籽晶的鋪設(shè)裝置，其特征在于，所述每個所述吸盤區(qū)域至少設(shè)有一個吸盤孔具體為：

每個所述吸盤區(qū)域設(shè)有4個吸盤孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的類單晶籽晶的鋪設(shè)裝置，其特征在于，每個所述吸盤孔分別設(shè)置于相應(yīng)吸盤區(qū)域的四角處。

9.一種類單晶籽晶的鋪設(shè)設(shè)備，其特征在于，包括用于放置坩堝的平板車和如權(quán)利要求1至8任意一項所述的類單晶籽晶塊的鋪設(shè)裝置。