[發(fā)明專利]氣浴裝置、該氣浴裝置的制備方法以及光刻設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711046779.0
• 申請(qǐng)日: 2017-10-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109725494A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊志斌;高玉英;俞蕓;魏巍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

本發(fā)明提供了氣浴裝置、該氣浴裝置的制備方法以及光刻設(shè)備，包括殼體、進(jìn)氣接口、溫控介質(zhì)通道、出風(fēng)口，所述進(jìn)氣接口、所述出風(fēng)口設(shè)置于所述殼體上，所述溫控介質(zhì)通道設(shè)置于所述殼體內(nèi)，所述溫控介質(zhì)通道內(nèi)用于通入流體的溫控介質(zhì)，氣體由所述進(jìn)氣接口進(jìn)入，與所述溫控介質(zhì)通過(guò)所述溫控介質(zhì)通道進(jìn)行交換熱量后由所述出風(fēng)口吹出。本發(fā)明提供的氣浴裝置能夠使得測(cè)量傳感器的精度高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于光刻技術(shù)領(lǐng)域，涉及氣浴裝置、該氣浴裝置的制備方法以及光刻設(shè)備。

背景技術(shù)

氣浴裝置是對(duì)光刻設(shè)備空間光路或核心器件進(jìn)行精確控溫的主要器件。氣浴裝置送風(fēng)的均勻性和穩(wěn)定性是評(píng)價(jià)氣浴裝置的主要性能指標(biāo)，氣浴裝置結(jié)構(gòu)緊湊性是決定氣浴裝置是否可集成到整機(jī)上的重要結(jié)構(gòu)指標(biāo)。

現(xiàn)有技術(shù)設(shè)計(jì)的氣浴裝置均勻性很難突破20mk，對(duì)雙臺(tái)及TFT等大空間光程設(shè)計(jì)的傳統(tǒng)氣浴，700mm以上長(zhǎng)光程上空氣溫度均勻性更差，導(dǎo)致測(cè)量傳感器精度難以提高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供氣浴裝置、該氣浴裝置的制備方法以及光刻設(shè)備，旨在解決測(cè)量傳感器精度低的問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種氣浴裝置裝置，包括殼體、進(jìn)氣接口、溫控介質(zhì)通道、出風(fēng)口，所述進(jìn)氣接口、所述出風(fēng)口設(shè)置于所述殼體上，所述溫控介質(zhì)通道設(shè)置于所述殼體內(nèi)，所述溫控介質(zhì)通道內(nèi)用于通入流體的溫控介質(zhì)，氣體由所述進(jìn)氣接口進(jìn)入，與所述溫控介質(zhì)通過(guò)所述溫控介質(zhì)通道進(jìn)行交換熱量后由所述出風(fēng)口吹出。

本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述進(jìn)氣口用于通入壓縮空氣。

本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，還包括有多孔介質(zhì)，所述多孔介質(zhì)與所述溫控介質(zhì)通道外壁相接。

本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述多孔介質(zhì)設(shè)置于所述溫控介質(zhì)通道與所述殼體之間。

本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述多孔介質(zhì)由若干晶格狀結(jié)構(gòu)組成。

本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述出氣口設(shè)置有多個(gè)。

本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述出氣口處設(shè)置有若干個(gè)多孔板，所述多孔板用于均勻氣流。

本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，位于所述出氣口處的所述殼體上設(shè)置有用于對(duì)氣流進(jìn)行導(dǎo)向的導(dǎo)風(fēng)柵。

本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述導(dǎo)風(fēng)柵上設(shè)置有加熱片。

本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述導(dǎo)風(fēng)柵上設(shè)置有用于調(diào)節(jié)所述導(dǎo)風(fēng)柵的角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述導(dǎo)風(fēng)柵所在的平面與所述多孔板所在的平面之間的夾角為5°～90°。

本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述導(dǎo)風(fēng)柵的長(zhǎng)度為10mm～20mm，相鄰所述導(dǎo)風(fēng)柵之間的距離為5mm～10mm。

本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述溫控介質(zhì)通道為蛇形結(jié)構(gòu)。

一種氣浴裝置的制備方法，包括有上任一項(xiàng)所述的溫控介質(zhì)通道和多孔介質(zhì)，所述溫控介質(zhì)通道和所述多孔介質(zhì)均由3D打印制成。

本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述溫控介質(zhì)通道與所述多孔介質(zhì)由3D打印成一體。

本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述多孔介質(zhì)的孔徑為1mm。

一種光刻設(shè)備，包括有上所述的氣浴裝置。