[發明專利]電子束裝置以及具備該電子束裝置的X射線產生裝置和掃描電子顯微鏡

在審

• 申請號: 201711044479.9
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN109148245A
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 宮岡明寬
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: H01J37/12
• 分類號: H01J37/12;H01J37/063;H01J37/28
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;王培超

1.一種電子束裝置，其特征在于，具備：

陰極，所述陰極放射電子；

陽極，所述陽極是形成電場以便借助從所述陰極放射出的所述電子來形成電子束的電極，且形成有供所述電子束穿過的第1孔；

形成有開口的光闌部件，所述光闌部件將穿過所述陽極后的所述電子束的一部分遮蔽；以及

最末級的電子透鏡，所述最末級的電子透鏡是形成電場以便使穿過所述開口后的所述電子束聚焦的電極，由形成有供所述電子束穿過的第2孔的一個單孔電極構成。

2.根據權利要求1所述的電子束裝置，其特征在于，

所述光闌部件與所述單孔電極為相同電位。

3.根據權利要求2所述的電子束裝置，其特征在于，

具備與賦予電位的配線不同的第1導通部件，所述第1導通部件使所述光闌部件與所述單孔電極在真空中導通。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的電子束裝置，其特征在于，

所述陽極與所述光闌部件為相同電位。

5.根據權利要求4所述的電子束裝置，其特征在于，

具備與賦予電位的配線不同的第2導通部件，所述第2導通部件使所述陽極與所述光闌部件在真空中導通。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的電子束裝置，其特征在于，

沿著所述電子束的光軸的方向上的所述光闌部件與所述單孔電極之間的距離比所述第2孔的半徑長。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的電子束裝置，其特征在于，

所述陰極具有能夠放射所述電子的平面即放射面，

所述放射面的面積比所述第1孔的開口面積大。

8.根據權利要求1～7中任一項所述的電子束裝置，其特征在于，

所述陰極為熱電子放射型。

9.一種X射線產生裝置，其特征在于，

具備權利要求1～8中任一項所述的電子束裝置。

10.一種掃描電子顯微鏡，其特征在于，

具備權利要求1～8中任一項所述的電子束裝置。