[發明專利]一種濕度敏感器件的制備方法有效
| 申請號： | 201711043470.6 | 申請日： | 2017-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN107817271B | 公開（公告）日： | 2020-06-30 |
| 發明（設計）人： | 邱云峰;王凱萱;馬卓;張園媛;孫浩浩;紀心陽;胡平安 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | G01N27/00 | 分類號： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知識產權代理有限公司 11340 | 代理人： | 陳新勝 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 濕度 敏感 器件 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種濕度敏感器件的制備方法，其特征在于，所述制備方法步驟如下：
步驟一：取30微升Hummer法制備的濃度為3-5mg/mL的氧化石墨烯(3)滴加到金屬電極(1)的溝道(2)之間；
步驟二：將金屬電極(1)在室溫下自然晾干；
步驟三：在高濕度下，通過對晾干的金屬電極(1)施加電壓不對稱還原金屬電極溝道(2)之間的氧化石墨烯(3)，獲得氧化石墨烯(3)含氧官能團濃度梯度分布的器件；
所述器件為平面結構，無需外加電壓驅動。
2.根據權利要求1所述的濕度敏感器件的制備方法，其特征在于，所述金屬電極(1)的微米寬度范圍在100～400μm之間。
3.根據權利要求1所述的濕度敏感器件的制備方法，其特征在于，所述器件在0伏特電壓下，在2毫米距離內響應手指表面的濕度。
4.根據權利要求1所述的濕度敏感器件的制備方法，其特征在于，所述器件通過感受濕度源在器件陣列表面的水平和豎直方向上的電壓與電流變化值進行濕度信號的檢測。
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