[發明專利]用于探針卡的探針及其制造方法在審
| 申請號： | 201711042258.8 | 申請日： | 2017-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN108957057A | 公開（公告）日： | 2018-12-07 |
| 發明（設計）人： | 蘇偉志 | 申請（專利權）人： | 中華精測科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中國臺灣桃*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 石墨烯層 探針主體 探針卡 散熱能力 探針表面 電流量 制造 | ||
1.一種用于探針卡的探針，其特征在于，包含：
一探針主體；以及
一石墨烯層，形成在所述探針主體的外表面。
2.如權利要求1所述的用于探針卡的探針，其特征在于，所述石墨烯層的厚度小于100納米。
3.如權利要求1所述的用于探針卡的探針，其特征在于，所述石墨烯層的厚度介于0.3納米至4納米之間。
4.如權利要求1所述的用于探針卡的探針，其特征在于，所述探針還包含一金屬保護層，形成在所述石墨烯層之外。
5.如權利要求4所述的用于探針卡的探針，其特征在于，所述金屬保護層的材料包含金。
6.如權利要求4所述的用于探針卡的探針，其特征在于，所述金屬保護層的厚度介于0.1微米至1微米之間。
7.如權利要求1所述的用于探針卡的探針，其特征在于，所述探針包含一針頭段、一針尾段、以及一中間段，其中所述針頭段和所述針尾段分別位在所述中間段的相對的兩側，以及其中所述石墨烯層形成在所述探針主體的對應所述針頭段、所述針尾段和所述中間段的全部的外表面。
8.如權利要求7所述的用于探針卡的探針，其特征在于，所述探針還包含一絕緣層，形成在對應于所述中間段的所述石墨烯層的外表面。
9.如權利要求8所述的用于探針卡的探針，其特征在于，所述絕緣層的厚度介于1微米至10微米之間。
10.如權利要求1所述的用于探針卡的探針，其特征在于，所述探針的外形包含圓柱形、橢圓柱狀、三角柱形、方柱狀、或多角柱形，以及其中所述探針的針頭或針尾的構型包含圓頭狀、尖頭狀、或多爪狀。
11.一種用于探針卡的探針的制造方法，其特征在于，包含：
提供一探針主體；以及
在所述探針主體的外表面形成一石墨烯層。
12.如權利要求11所述的用于探針卡的探針的制造方法，其特征在于，在形成所述石墨烯層之后還包含：在所述石墨烯層的外形成一金屬保護層。
13.如權利要求12所述的用于探針卡的探針的制造方法，其特征在于，在形成所述金屬保護層之后還包含：在所述金屬保護層的外形成一絕緣層。
14.如權利要求13所述的用于探針卡的探針的制造方法，其特征在于，所述探針包含一針頭段、一針尾段、以及一中間段，其中所述針頭段和所述針尾段分別位在所述中間段的相對的兩側，以及其中所述絕緣層形成在對應于所述中間段的所述金屬保護層的外表面。
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