[發明專利]多晶硅錠鑄錠爐及方法

有效

• 申請號: 201711040877.3
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN107587194B
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發明（設計）人: 王巖;房靈輝
• 申請（專利權）人: 河南省博宇新能源有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 鄭州大通專利商標代理有限公司 41111
• 代理人: 余炎鋒

1.一種制備多晶硅錠鑄錠的方法，其特征在于，采用了如下多晶硅錠鑄錠爐，所述多晶硅錠鑄錠爐包括：

爐體，所述爐體包括匹配對應扣合的上爐體和下爐體，且所述上爐體和下爐體之間設置有上下開合動作的開合動力機構；

支撐臺，所述支撐臺包括平行間隔設置在下爐體內的下保溫板和支撐板、連接支撐下保溫板、支撐板和下爐體的支撐柱，所述支撐臺上設置有坩堝；

加熱腔室，所述加熱腔室包括上保溫板和呈環狀的側保溫壁，所述上保溫板和側保溫壁內側設有加熱器，所述側保溫壁與上爐體之間設置有升降機構，所述側保溫壁上下端均設置有向內延伸的對接沿，所述側保溫壁的對接沿與下保溫板匹配疊合連接；

以及控制系統和抽排風系統；

所述下保溫板與側保溫壁之間設置有長晶熱量緩流散組件，所述長晶熱量緩流散組件包括匹配套設在側保溫壁下端對接沿內的外隔套、和匹配樞接設置在下保溫板上的內隔套，所述內隔套與外隔套匹配滑動貼合套接，所述外隔套上端設置有向外延伸的搭接沿，當所述側保溫壁與下保溫板處于分離狀態時，所述外隔套通過搭接沿匹配掛設在側保溫壁上，當側保溫壁與下保溫板處于閉合狀態時，所述外隔套支撐設置在下保溫板上。

2.根據權利要求1所述的制備多晶硅錠鑄錠的方法，其特征在于，所述外隔套和內隔套上均設置有長條形散熱孔，所述下保溫板上設置有驅動內隔套旋轉的旋轉動力機構，當通過散熱進行長晶過程中，所述旋轉動力機構調整內隔套與外隔套之間的氣流散熱量。

3.根據權利要求2所述的制備多晶硅錠鑄錠的方法，其特征在于，所述旋轉動力機構包括樞接設置在下爐體上的旋轉軸、設置在旋轉軸頂部的驅動齒輪、開設在下保溫板上的一段弧形調節槽、設置在與弧形調節槽對應的內襯套上的驅動臂、固定設置在驅動臂下端的齒圈和驅動電機，所述驅動齒輪與齒圈匹配嚙合傳動。

4.根據權利要求1所述的制備多晶硅錠鑄錠的方法，其特征在于，所述坩堝的底部外側開設有環形凹槽，所述坩堝的內腔底部設置有弧形槽，坩堝的內腔底部截面呈波浪線狀，所述坩堝的外側壁上均布設有環形安裝槽，所述坩堝的外側壁還設有保溫條，根據不同的熱場結構分布，在相應的環形安裝槽內匹配插設保溫條。

5.根據權利要求1所述的制備多晶硅錠鑄錠的方法，其特征在于，所述支撐板包括下支撐板、上支撐圈、樞接設置在支撐柱中部的調節軸、通過軸承支撐設置在調節軸頂部的中支撐盤、以及設置在中支撐盤與上支撐圈之間的調溫盤，所述調溫盤上設置有迷宮式凹槽，調溫盤固定設置在調節軸上，調溫盤的頂面與坩堝貼合，在所述下爐體外側設置有驅動調節軸的驅動電機。