[發(fā)明專利]光電二極管及其形成方法、圖像傳感器、指紋成像模組

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711037795.3
• 申請日: 2017-10-30
• 公開（公告）號: CN109728127A
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 曲志剛;朱虹
• 申請（專利權(quán)）人: 上海籮箕技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/105;H01L31/0224;H01L27/146
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 高磊;吳敏

一種光電二極管及其形成方法、圖像傳感器、指紋成像模組，光電二極管的形成方法包括：提供襯底；在所述襯底上形成多個支撐件，所述多個支撐件分布于所述襯底表面；在所述襯底和所述多個支撐件上形成感光層。通過所述多個支撐件的形成，以形成具有凹凸表面的感光層，從而降低所述感光層表面反射的損耗，增大所述感光層吸收光線的面積，在不增大開口尺寸的前提下，達到提高所形成光電二極管的光采集能力，改善圖像質(zhì)量的目的。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及指紋成像領(lǐng)域，特別涉及一種光電二極管及其形成方法、圖像傳感器、指紋成像模組。

背景技術(shù)

指紋識別是在采集人體指紋圖像之后，將指紋圖像與指紋識別系統(tǒng)里已有指紋信息進行比對，以實現(xiàn)身份識別。由于使用的方便性，以及人體指紋的唯一性，指紋識別技術(shù)已經(jīng)大量應(yīng)用于各個領(lǐng)域，比如：公安局、海關(guān)等安檢領(lǐng)域，樓宇的門禁系統(tǒng)，以及個人電腦和手機等消費品領(lǐng)域等等。

指紋識別所采用的指紋成像技術(shù)中，一種是通過光學(xué)方法采集人體指紋圖像：通過光源產(chǎn)生入射光；入射光投射至手指表層，經(jīng)手指反射形成帶有指紋信息的反射光；由圖像傳感器接收所述反射光，獲得指紋圖像。

但是現(xiàn)有指紋成像模組所采用圖像傳感器的采光面積較小，影響了所獲得指紋圖像的質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的問題是提供一種光電二極管及其形成方法、圖像傳感器、指紋成像模組，以增大采光面積、改善圖像質(zhì)量。

為解決上述問題，本發(fā)明提供一種光電二極管的形成方法，包括：

提供襯底；在所述襯底上形成多個支撐件，所述多個支撐件分布于所述襯底表面；在所述襯底和所述多個支撐件上形成感光層。

可選的，所述支撐件的寬度大于或等于1μm。

可選的，所述支撐件的間距大于或等于1μm。

可選的，所述支撐件具有朝向所述感光層凸起的支撐面，所述支撐面為曲面。

可選的，所述支撐件具有朝向所述襯底的第一面、與所述第一面相對的第二面以及連接所述第一面和第二面的第三面。

可選的，平行所述襯底表面的平面內(nèi)，所述支撐件呈長條狀；垂直所述支撐件延伸方向的平面，所述支撐件的截面形狀為方形、梯形或三角形。

可選的，所述支撐件的高度小于或等于所述感光層厚度的2倍。

可選的，所述感光層的厚度小于或等于1.1μm；所述支撐件的高度小于2.2μm。

可選的，形成保形覆蓋于所述襯底和所述多個支撐件上的所述感光層。。

可選的，形成所述多個支撐件的步驟包括：在所述襯底上形成凸起材料層；通過掩膜刻蝕的方式去除部分所述凸起材料層以形成所述支撐件。

可選的，形成所述多個支撐件之后，形成所述感光層之前，還包括：形成底電極，所述底電極位于所述襯底和所述多個支撐件上；在所述底電極上形成所述感光層。

可選的，所述底電極的厚度小于或等于所述支撐件高度的1/2。

可選的，通過原子層沉積的方式形成所述底電極。

可選的，形成所述感光層之后，還包括：在所述感光層上形成頂電極和位于所述頂電極上的偏壓導(dǎo)電層；在所述偏壓導(dǎo)電層上形成保護層。

可選的，所述感光層的材料為摻雜的非晶硅。

可選的，所述光電二極管為非晶硅PIN光電二極管。

相應(yīng)的，還提供一種光電二極管，包括：

襯底；多個支撐件，所述多個支撐件分布于所述襯底表面；感光層，所述感光層位于所述襯底和所述多個支撐件上。