[發明專利]一種多晶硅太陽能電池片外觀臟污缺陷檢測的方法有效
| 申請號: | 201711036375.3 | 申請日: | 2017-10-30 |
| 公開(公告)號: | CN107768269B | 公開(公告)日: | 2019-08-02 |
| 發明(設計)人: | 陳海永;張曉芳;李愛梅;崔海根;于矗卓;樊雷雷;胡潔;王玉 | 申請(專利權)人: | 河北工業大學;天津英利新能源有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66;G06T7/80;G06T5/00;G06T3/60;G06T7/136 |
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| 地址: | 300401 天津*** | 國省代碼: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 多晶 太陽能電池 外觀 臟污 缺陷 檢測 方法 | ||
1.一種多晶硅太陽能電池片外觀臟污缺陷檢測的方法,該方法包括兩個步驟單元:
第一步,對圖像進行預處理
1-1標定相機,消除畸變;
1-2轉換為單通道圖像:將工業相機采集到的RGB三通道圖像轉換為R、G、B單通道圖像;
1-3旋轉校正圖像:在步驟1-2的基礎上,對R通道圖像進行旋轉校正,使圖像平行于坐標軸;
1-4平滑圖像:在步驟1-3的基礎上,對圖像進行平滑處理,抑制圖像噪聲和高頻成分的干擾;
1-5閾值分割:在步驟1-4的基礎上,對圖像進行固定閾值分割,得到二值圖像;
1-6消除干擾區域:在步驟1-5的基礎上,依據設定的面積閾值,消除傳送帶的影響,篩選出待處理的二值區域;
1-7形態學閉環操作:在步驟1-6的基礎上,對待處理的二值區域進行閉環操作,使篩選出來的二值區域為完整的連通域;
1-8利用掩碼,生成ROI:在步驟1-7的基礎上,分別從上、下、左、右四個方向向內減去十個像素的長度后得到的區域作為掩碼,在R通道圖像上截取感興趣區域ROI,即可消除周邊焊點的影響;
第二步,檢測臟污區域
2-1紋理濾波:在步驟1-8的基礎上,對感興趣區域ROI進行紋理濾波操作;
2-2自適應閾值分割:在步驟2-1的基礎上,對濾波后的圖像進行自適應閾值分割;
2-3填充:在步驟2-2的基礎上,對篩選出來的區域進行形態學閉環操作,確保閾值分割后得到的均為連通域;
2-4篩選并統計缺陷:在步驟2-3的基礎上,根據臟污缺陷的大小、方向、灰度值特征進行篩選缺陷并統計缺陷個數;
2-5標注缺陷:在步驟2-4的基礎上,將缺陷的位置標注在原圖上。
2.根據權利要求1所述的一種多晶硅太陽能電池片外觀臟污缺陷檢測的方法,其特征在于:圖像采集所用相機是500萬像素工業相機,采集圖像大小為2456*2054,精度0.08mm/pixl。
3.根據權利要求1所述的一種多晶硅太陽能電池片外觀臟污缺陷檢測的方法,其特征在于:此方法適用的太陽能電池片大小為156mm*156mm。
4.根據權利要求1所述的一種多晶硅太陽能電池片外觀臟污缺陷檢測的方法,其特征在于:進行閾值分割時,根據灰度圖像的范圍,在步驟1-5中,所述閾值分割時閾值的取值范圍是1-255。
5.根據權利要求1所述的一種多晶硅太陽能電池片外觀臟污缺陷檢測的方法,其特征在于:在所述步驟1-6中,所述消除傳送帶影響時,選取待檢測區域面積的范圍大于最大傳送帶的面積,所述待檢測區域的取值范圍為1000-1000000。
6.根據權利要求1所述的一種多晶硅太陽能電池片外觀臟污缺陷檢測的方法,其特征在于:在所述步驟2-4中,所述篩選缺陷是根據缺陷寬和高度分別大于5個像素的原則進行標示,即所述篩選缺陷的寬度和高度如果大于0.4mm就標識出來。
7.根據權利要求1所述的一種多晶硅太陽能電池片外觀臟污缺陷檢測的方法,其特征在于:在所述步驟2-4中,還有對所述閾值分割后的缺陷處理的步驟,具體為,根據缺陷的方向,將角度為-1.99000到-1.20000和1.20000到1.90000范圍內的排除掉。
8.根據權利要求1所述的一種多晶硅太陽能電池片外觀臟污缺陷檢測的方法,其特征在于:在所述步驟2-4中,所述缺陷的灰度值的取值范圍是10-180。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





