[發(fā)明專利]一種宏微工作臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711032937.7
• 申請日: 2017-10-30
• 公開（公告）號: CN107644668B
• 公開（公告）日: 2023-05-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鐘博文;孫立寧;王振華
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州邁客榮自動化技術(shù)有限公司
• 主分類號: G12B9/10
• 分類號: G12B9/10;G12B5/00
• 代理公司: 蘇州市中南偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32257
• 代理人: 楊慧林

本申請公開了一種宏微工作臺，包括工作臺本體和設(shè)于工作臺本體上的宏動臺、微動臺以及驅(qū)動宏動臺移動的驅(qū)動組件，微動臺包括一基座，基座上設(shè)有穿過基座的通槽，通槽將基座分為一動臺體和一基座本體，通槽包括X向通槽和Y向通槽，Y向通槽將X向通槽圍設(shè)在Y向通槽的內(nèi)側(cè)，X向通槽包括一組相對設(shè)置的第一U型槽與第二U型槽，Y向通槽包括相對設(shè)置的第三U型槽與第四U型槽，基座上設(shè)有沿X向延伸的第一凹槽和沿Y向延伸的第二凹槽，第一凹槽與第二凹槽內(nèi)分別設(shè)有第一壓電陶瓷與第二壓電陶瓷，本申請的宏微工作臺，通過設(shè)置X向與Y向的通槽實(shí)現(xiàn)X向與Y向運(yùn)動控制簡單解決現(xiàn)有的X向與Y向運(yùn)動的耦合問題，結(jié)構(gòu)更加簡單，體積更小。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及一種微/納米定位系統(tǒng)中的微位移機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種宏微工作臺。

背景技術(shù)

隨著科技的不斷發(fā)展，隨著科技的發(fā)展，精密微定位技術(shù)在微驅(qū)動各個領(lǐng)域，如微機(jī)電系統(tǒng)、光學(xué)調(diào)整、超精密加工、生物細(xì)胞操作、STM和AFM顯微鏡掃描平臺等方面都是必不可少的，有著廣闊的應(yīng)用前景，并能產(chǎn)生巨大的社會及經(jīng)濟(jì)效益，己成為微驅(qū)動精密定位領(lǐng)域中不可或缺的關(guān)鍵技術(shù)之一。

申請內(nèi)容

本申請要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、體積小的宏微工作臺。

為了解決上述技術(shù)問題，本申請?zhí)峁┝艘环N宏微工作臺，包括工作臺本體和設(shè)于所述工作臺本體上的宏動臺、微動臺以及驅(qū)動所述宏動臺移動的驅(qū)動組件，所述微動臺設(shè)于所述宏動臺上，所述微動臺包括一基座，所述基座上設(shè)有穿過所述基座的上表面與下表面的通槽，所述通槽將所述基座分為一動臺體和一基座本體，所述通槽包括X向通槽和Y向通槽，所述Y向通槽將所述X向通槽圍設(shè)在所述Y向通槽的內(nèi)側(cè)，所述X向通槽和所述Y向通槽間隔設(shè)置，所述X向通槽包括一組相對設(shè)置的第一U型槽與第二U型槽，所述第一U型槽與第二U型槽的槽口相對設(shè)置，所述Y向通槽包括相對設(shè)置的第三U型槽與第四U型槽，所述第三U型槽與第四U型槽的槽口相對設(shè)置，各所述U型槽均包括一橫部和設(shè)于所述橫部兩端并與所述橫部相垂直設(shè)置的豎部，所述橫部的長度長于所述豎部的長度，所述基座上設(shè)有沿X向延伸的第一凹槽和沿Y向延伸的第二凹槽，所述第一凹槽與所述第二凹槽內(nèi)分別設(shè)有第一壓電陶瓷與第二壓電陶瓷，所述第一壓電陶瓷穿過所述第一U型槽的橫部，所述第二壓電陶瓷穿過所述第二U型槽的橫部。

進(jìn)一步的，所述基座本體上分別設(shè)有穿過所述基座本體的側(cè)壁并分別抵持對應(yīng)的壓電陶瓷的預(yù)緊頂桿。

進(jìn)一步的，所述第一凹槽長度方向的延長線與第二凹槽長度方向的延長線交于所述基座的中心。

進(jìn)一步的，所述基座的側(cè)壁上還設(shè)有供所述壓電陶瓷出線、與所述凹槽連通的電線保護(hù)套。

進(jìn)一步的，所述動臺體上設(shè)有多個安裝孔。

進(jìn)一步的，所述基座上還設(shè)有與所述基座可拆卸連接的底蓋。

進(jìn)一步的，所述驅(qū)動組件包括一絲杠螺母副和驅(qū)動所述絲杠螺母副的伺服電機(jī)，所述宏動臺設(shè)于所述絲杠螺母副的絲母上。

進(jìn)一步的，所述工作臺本體上豎向設(shè)置有一與所述工作臺本體可拆卸連接的收容腔，所述絲杠螺母副設(shè)于所述收容腔內(nèi)，所述收容腔靠近所述宏動臺的一側(cè)的側(cè)壁開設(shè)有供所述宏動臺上下移動的通孔，所述收容腔的側(cè)壁與所述宏動臺接觸的側(cè)壁上還設(shè)有滑槽，所述宏動臺上設(shè)有與所述滑槽相適配的滑塊。

進(jìn)一步的，所述宏動臺與所述工作臺本體之間設(shè)有一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括一導(dǎo)套和與所述導(dǎo)套相適配的圓柱軸，所述宏動臺與所述工作臺本體中的其中一者設(shè)有導(dǎo)套，另一者設(shè)有圓柱軸。

本申請的有益效果是：

1)本申請的宏微工作臺，通過設(shè)置X向與Y向的通槽實(shí)現(xiàn)X向與Y向運(yùn)動控制簡單解決現(xiàn)有的X向與Y向運(yùn)動的耦合問題；

2)本申請的宏微工作臺，將整個微動臺的驅(qū)動部件與相應(yīng)部件均設(shè)置在基座上，使整個結(jié)構(gòu)較現(xiàn)有微動臺的結(jié)構(gòu)更加簡單，體積更小。