[發(fā)明專利]涂覆金屬復合納米涂層的制造工藝在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711032288.0 | 申請日： | 2015-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN107761066A | 公開（公告）日： | 2018-03-06 |
| 發(fā)明（設計）人： | 鮑必輝 | 申請（專利權）人： | 溫州市科泓機器人科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 325000 浙江省溫州市龍灣區(qū)高新技術產(chǎn)*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金屬 復合 納米 涂層 制造 工藝 | ||
1.一種涂覆金屬復合納米涂層的制造工藝，其特征在于，包括以下步驟：
步驟S100：對陶瓷基體(101)進行表面處理；
步驟S200：將經(jīng)過表面處理的陶瓷基體(101)穩(wěn)固置于磁控濺射機的托盤上，通過傳輸裝置將陶瓷基體(101)輸送至安裝有金屬欽靶的真空室；
步驟S300：關閉真空室的出入口，抽真空至3×10-4至5×10-4Pa，通入氫氣和氮氣的混合氣體；
步驟S400：在功率為50-200W，偏壓120-160V，靶距30-40mm,陶瓷基體(101)溫度30-300攝氏度的工藝條件下進行濺射，控制濺射時間為20-60min；
步驟S500：緩慢開啟真空室使其與室外空氣連通，再重新抽取真空度至5×10-4至8×10-4Pa，通入氫氣和氧氣的混合氣體；
步驟S600：在功率為3000-4000W，無偏壓，靶距30-40mm的工藝條件下進行濺射，控制濺射時間為40-400min；
所述步驟S500具體是指重新用機械泵抽真空至1Pa，然后用分子泵抽真空至5.8×10-4-6.2×10-4Pa,氫氣的分壓為0.4-2.8Pa,氧氣的分壓為0.O1-0.025Pa；
所述步驟S600具體是指在功率3500W，偏壓OV，靶距35mm的工藝條件下進行濺射，控制濺射時間40-160min。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
