[發明專利]一種開口掩膜板、母板及其制備方法、基板、顯示裝置

有效

• 申請號: 201711025679.X
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN107829065B
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 白珊珊;韓喬楠
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L27/32;H01L51/52
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種開口掩膜板，其特征在于，包括至少一個鏤空圖案組；

所述鏤空圖案組包括一行間隔排布的第一鏤空圖案和一行間隔排布的第二鏤空圖案；同一所述鏤空圖案組中，所述開口掩膜板以其厚度方向為軸旋轉180°后的一行所述第一鏤空圖案與所述開口掩膜板未旋轉時的一行所述第二鏤空圖案可拼接成一行包圍遮擋區的第三鏤空圖案，所述開口掩膜板以其厚度方向為軸旋轉180°后的一行所述第二鏤空圖案與所述開口掩膜板未旋轉時的一行所述第一鏤空圖案可拼接成一行所述第三鏤空圖案；且各個遮擋區不全部位于相應的所述第三鏤空圖案的中心位置；

所述第一鏤空圖案的輪廓包含所述遮擋區的輪廓的一部分，所述第二鏤空圖案的輪廓包含所述遮擋區的輪廓的另一部分。

2.根據權利要求1所述的開口掩膜板，其特征在于，所述第一鏤空圖案的輪廓包含所述遮擋區的輪廓的一半，所述第二鏤空圖案的輪廓包含所述遮擋區的輪廓的另一半。

3.根據權利要求1所述的開口掩膜板，其特征在于，所述遮擋區的輪廓為軸對稱圖形；

所述第一鏤空圖案的輪廓包含所述軸對稱圖形中以對稱軸作為分界劃分得到的一半，所述第二鏤空圖案的輪廓包含所述軸對稱圖形中以對稱軸作為分界劃分得到的另一半。

4.根據權利要求1所述的開口掩膜板，其特征在于，還包括一行間隔排布的第四鏤空圖案，所述第一鏤空圖案、所述第二鏤空圖案和所述第四鏤空圖案的行數之和為奇數；所述第四鏤空圖案所在行為中間行；所述開口掩膜板以其厚度方向為軸旋轉180°后的一行所述第四鏤空圖案與所述開口掩膜板未旋轉時的一行所述第四鏤空圖案可拼接成一行包圍遮擋區的第五鏤空圖案。

5.根據權利要求1所述的開口掩膜板，其特征在于，同一鏤空圖案組中的一行所述第一鏤空圖案與一行所述第二鏤空圖案呈鏡像對稱分布。

6.根據權利要求1所述的開口掩膜板，其特征在于，所述開口掩膜板的材料包括因瓦合金。

7.一種母板的制備方法，其特征在于，所述方法包括：

采用掩膜板在襯底上蒸鍍形成多行第一圖案塊，所述掩膜板包括權利要求1-6任一項所述的開口掩膜板；

將所述掩膜板以其厚度方向為軸旋轉180°，采用旋轉后的所述掩膜板在形成有所述第一圖案塊的襯底上蒸鍍形成與多行所述第一圖案塊無縫拼接的多行第二圖案塊；

其中，多行所述第一圖案塊和多行所述第二圖案塊拼成多行內部具有鏤空部分的第三圖案塊，所述鏤空部分的輪廓與權利要求1-6任一項所述的開口掩膜板的遮擋區的輪廓相同。