[發明專利]微機電系統裝置測試系統和方法

有效

• 申請號: 201711011146.6
• 申請日: 2017-10-25
• 公開（公告）號: CN108007475B
• 公開（公告）日: 2023-06-20
• 發明（設計）人: 菲利普·卡爾;西爾維婭·卡爾
• 申請（專利權）人: 恩智浦美國有限公司
• 主分類號: G01C25/00
• 分類號: G01C25/00;G01P21/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 紀雯

1.一種用于測試角速率傳感器的測試系統，其特征在于，包括：

旋轉平臺，其適用于繞固定點經受振蕩運動；

慣性傳感器，其是在第一位置處安裝到所述旋轉平臺的第一線性加速度計，以用于提供指示所述振蕩運動的第一運動輸出信號；

在第二位置處安裝到所述旋轉平臺的第二線性加速度計，所述第二位置繞所述固定點從所述第一位置偏移一百八十度；以用于提供指示所述振蕩運動的第二運動輸出信號；以及

控制器，其與所述旋轉平臺和所述慣性傳感器通信，所述控制器被配置成接收所述第一運動輸出信號和第二運動輸出信號，且響應于所述運動輸出信號將驅動信號提供到所述旋轉平臺；所述控制器被配置成響應于預定測試配置文件產生所述驅動信號，且所述第一運動輸出信號和所述第二運動輸出信號提供所述旋轉平臺的實際移動的反饋，所述第一運動輸出信號和所述第二運動輸出信號被輸入到所述控制器以確保所述驅動信號對應于所述預定測試配置文件；以及所述驅動信號包括掃頻正弦波信號，所述掃頻正弦波信號由一系列離散頻率表征，所述離散頻率中的每一個離散頻率在預定持續時間內是連續的。

2.根據權利要求1所述的測試系統，其特征在于，進一步包括耦合到所述旋轉平臺的測試夾具，所述測試夾具適用于收容至少一個裝置以利用所述測試系統經受測試。

3.根據權利要求1所述的測試系統，其特征在于，進一步包括與所述控制器通信的存儲器組件，所述存儲器組件具有存儲于其中的至少一個控制程序，所述至少一個控制程序可由所述控制器執行以產生所述驅動信號。

4.一種用于測試角速率傳感器裝置的方法，其特征在于，包括：

將裝置固定在耦合到旋轉平臺的測試夾具中，所述旋轉平臺適用于繞固定點經受振蕩運動；

響應于預定測試配置文件在控制器處產生驅動信號，所述控制器與所述旋轉平臺通信；

將所述驅動信號從所述控制器提供到所述旋轉平臺，所述驅動信號產生所述旋轉平臺的所述振蕩運動；以及

在所述控制器處接收來自在第一位置處安裝到所述旋轉平臺的作為第一線性加速度計的慣性傳感器的第一運動輸出信號，所述第一運動輸出信號指示所述振蕩運動，在所述控制器處接收來自在第二位置處安裝到所述旋轉平臺的第二線性加速度計的第二運動輸出信號，所述第二運動輸出信號指示所述振蕩運動；所述第二位置繞所述固定點從所述第一位置偏移一百八十度；其中所述第一運動輸出信號和所述第二運動輸出信號提供所述旋轉平臺的實際移動的反饋，且響應于所述第一運動輸出信號和所述第二運動輸出信號而產生所述驅動信號以確保所述驅動信號對應于所述預定測試配置文件；所述驅動信號包括掃頻正弦波信號，所述掃頻正弦波信號由一系列離散頻率表征，所述離散頻率中的每一個離散頻率在預定持續時間內是連續的。