[發(fā)明專利]一種多晶硅片清洗制絨機(jī)烘干裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711006735.5
• 申請(qǐng)日: 2017-10-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107957184A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邵玉林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫琨圣科技有限公司
• 主分類號(hào): F26B21/00
• 分類號(hào): F26B21/00;F26B21/10
• 代理公司: 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11350
• 代理人: 湯東鳳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體材料加工領(lǐng)域，尤其涉及一種多晶硅片清洗制絨機(jī)烘干裝置。

背景技術(shù)

目前，硅材料大量用于日常生活之中，硅片的生產(chǎn)量也日趨增大，硅片在經(jīng)過(guò)一系列的加工程序之后需要進(jìn)行清洗制絨，清洗的目的是消除吸附在硅片表面的各類污染物，制絨是在其表面制作絨面結(jié)構(gòu)減少太陽(yáng)光發(fā)射，清洗潔凈程度直接影響成品率。硅片清洗機(jī)往往配置大量槽位，不易清洗，污染物又會(huì)對(duì)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)造成腐蝕，槽位水分難以烘干，都是目前清洗機(jī)烘干存在的問(wèn)題。

綜上所述，現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題是：目前多晶硅片清洗制絨機(jī)的烘干方式需要消耗大量的氮?dú)猓粌H設(shè)備造價(jià)昂貴，而且企業(yè)生產(chǎn)成本高，難以獲取利益，以往干燥方法往往不能徹底干燥，造成水分殘留。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種多晶硅片清洗制絨機(jī)烘干裝置。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的，該多晶硅片清洗制絨機(jī)烘干裝置設(shè)置有槍體，所述槍體的表面嵌裝有溫度顯示裝置，所述溫度顯示裝置與槍體內(nèi)部的加熱器電連接；

所述槍體的前端設(shè)置有烘干孔，所述烘干孔通過(guò)管道連通加熱器；所述槍體的下端安裝有開(kāi)關(guān)，所述開(kāi)關(guān)與加熱器電連接。

進(jìn)一步，所述槍體的上端嵌裝有定位燈，所述定位燈通過(guò)導(dǎo)線與開(kāi)關(guān)電連接。

進(jìn)一步，所述槍體的下端套裝有橡膠層，所述橡膠層的外部設(shè)置有防滑紋。

進(jìn)一步，所述槍體的上端一體設(shè)置有掛孔。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及積極效果為：該多晶硅片清洗制絨機(jī)烘干裝置可在多種環(huán)境下使用，能夠在不同工況下合理控制耗電量，節(jié)省成本，增大企業(yè)效益；同時(shí)可以做到探入設(shè)備多角度烘干，節(jié)省時(shí)間，同時(shí)裝置本身在10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間中使用，保重了控干不存在污染。裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，方便操作者學(xué)習(xí)，滿足了企業(yè)的需求。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明實(shí)例提供的多晶硅片清洗制絨機(jī)烘干裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1、槍體；2、溫度顯示裝置；3、掛孔；4、定位燈；5、防滑紋；6、開(kāi)關(guān)；7、烘干孔。

具體實(shí)施方式

為能進(jìn)一步了解本發(fā)明的發(fā)明內(nèi)容、特點(diǎn)及功效，茲例舉以下實(shí)施例，并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如下。

下面結(jié)合附圖1對(duì)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)作詳細(xì)的描述。

該多晶硅片清洗制絨機(jī)烘干裝置設(shè)置有槍體1，所述槍體1的表面嵌裝有溫度顯示裝置2，所述溫度顯示裝置2與槍體1內(nèi)部的加熱器電連接；

所述槍體1的前端設(shè)置有烘干孔7，所述烘干孔7通過(guò)管道連通加熱器；所述槍體1的下端安裝有開(kāi)關(guān)6，所述開(kāi)關(guān)6與加熱器電連接。

作為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述槍體1的上端嵌裝有定位燈4，所述定位燈4通過(guò)導(dǎo)線與開(kāi)關(guān)6電連接。

作為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述槍體1的下端套裝有橡膠層，所述橡膠層的外部設(shè)置有防滑紋5。

作為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述槍體1的上端一體設(shè)置有掛孔3。

本發(fā)明的工作原理是：通過(guò)開(kāi)關(guān)6對(duì)加熱器進(jìn)行控制，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)熱；產(chǎn)生的溫度通過(guò)溫度顯示裝置2進(jìn)行實(shí)時(shí)顯示。熱空氣通過(guò)烘干孔7噴出，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶硅片的烘干作業(yè)；在烘干過(guò)程中，可通過(guò)定位燈4對(duì)烘干的部位進(jìn)行定位；通過(guò)防滑紋5增加握持的摩擦力，避免掉落；使用完畢后，可通過(guò)掛孔3將槍體1進(jìn)行懸掛。

以上所述僅是對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改，等同變化與修飾，均屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。