[發明專利]含有氟化熱酸產生劑的面漆組合物

在審

• 申請號: 201710991883.0
• 申請日: 2017-10-23
• 公開（公告）號: CN108017970A
• 公開（公告）日: 2018-05-11
• 發明（設計）人: I·考爾;D·康;C·劉;G·波勒爾斯;M·李
• 申請（專利權）人: 羅門哈斯電子材料有限責任公司
• 主分類號: C09D133/10
• 分類號: C09D133/10;C09D7/63;C09D7/65;C09D7/20;G03F7/004
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陳哲鋒;胡嘉倩

1.一種面漆組合物，其包含：

基質聚合物；

表面活性聚合物；

包含陰離子和陽離子的離子性熱酸產生劑，其中所述陰離子、所述陽離子或所述陰離子和所述陽離子經氟化；和

溶劑。

2.根據權利要求1所述的面漆組合物，其中所述陰離子經氟化。

3.根據權利要求1所述的面漆組合物，其中所述陽離子經氟化。

4.根據權利要求1到3中任一項所述的面漆組合物，其中所述陰離子為多環的。

5.根據權利要求1到3中任一項所述的面漆組合物，其中所述離子性熱酸產生劑包含有包含在羥基的α位處鍵結至碳的氟原子的氟化醇基團和/或或在羥基的α位處側接至碳的氟化基團。

6.根據權利要求5所述的面漆組合物，其中所述氟化醇基團通過酯基鍵結至所述陰離子的芳族環。

7.根據權利要求6所述的面漆組合物，其中所述陰離子包含多個通過對應的酯基鍵結至所述芳族環的氟化醇基團。

8.根據權利要求1到3中任一項所述的面漆組合物，其中所述離子性熱酸產生劑包含含氮陽離子。

9.根據權利要求1到3中任一項所述的面漆組合物，其進一步包含光酸產生劑。

10.根據權利要求1到3中任一項所述的面漆組合物，其中所述溶劑包含有機溶劑的混合物，所述混合物包含沸點為120到140℃的第一有機溶劑、沸點為140到180℃的第二有機溶劑和沸點為170到200℃的第三有機溶劑。

11.一種經涂布襯底，其包含：半導體襯底；所述半導體襯底上方的光致抗蝕劑層；和所述光致抗蝕劑層上方的面漆層，其中所述面漆層由根據權利要求1到10中任一項所述的面漆組合物形成。

12.一種圖案形成方法，其包含：

(a)在襯底上方形成光致抗蝕劑層；

(b)在所述光致抗蝕劑層上方形成面漆層，其中所述面漆層由根據權利要求1到10中任一項所述的面漆組合物形成；

(c)使所述面漆層和所述光致抗蝕劑層曝光于活化輻射；以及

(d)使所述經曝光面漆層和光致抗蝕劑層與顯影劑接觸以形成光致抗蝕劑圖案。