[發明專利]一種橢圓柔性基底的壓電薄膜傳感器

有效

• 申請號: 201710989603.2
• 申請日: 2017-10-23
• 公開（公告）號: CN107830877B
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 董維杰;趙昕;白鳳仙
• 申請（專利權）人: 大連理工大學
• 主分類號: G01D5/12
• 分類號: G01D5/12
• 代理公司: 大連理工大學專利中心 21200
• 代理人: 李曉亮;潘迅

1.一種橢圓柔性基底的壓電薄膜傳感器，其特征在于，所述的壓電薄膜傳感器包括壓電薄膜(1)、柔性基底(2)、絕緣保護層(3)；柔性基底(2)為半橢圓柱弧面結構，壓電薄膜(1)覆蓋在柔性基底(2)上，并通過絕緣保護層(3)將壓電薄膜固定；該壓電薄膜傳感器通過仿真計算不同尺寸參數的半橢圓柔性基底的壓電薄膜傳感器在受到同樣的力作用下的輸出電壓確定最優的柔性基底(2)尺寸；

所述的壓電薄膜傳感器根據柔性基底(2)結構分為等弧長橢圓柔性基底傳感器和等弦長橢圓柔性基底傳感器兩類，結構介紹如下：

(1)等弧長橢圓柔性基底傳感器中壓電薄膜(1)長度固定、柔性基底(2)的弧長L固定，柔性基底(2)的水平方向的長軸a可變；所述的柔性基底(2)的弧長L范圍為2π～8πmm；所述的柔性基底(2)豎直方向的短軸b的值大于0小于L/π；

(2)等弦長橢圓柔性基底傳感器中橢圓形柔性基底(2)的水平方向的長軸a一定，柔性基底(2)的弧長L可變、壓電薄膜(1)長度可變；所述的柔性基底(2)的長軸a范圍為2～8mm。

2.根據權利要求1所述的一種橢圓柔性基底的壓電薄膜傳感器，其特征在于，所述的等弧長橢圓柔性基底傳感器中長軸a與短軸b的比值為9:5。

3.根據權利要求1或2所述的一種橢圓柔性基底的壓電薄膜傳感器，其特征在于，所述的等弦長橢圓柔性基底傳感器的長軸a與短軸b的比值為2:1。

4.根據權利要求1或2所述的一種橢圓柔性基底的壓電薄膜傳感器，其特征在于，所述的柔性基底(2)所用的材料為聚二甲基硅氧烷。

5.根據權利要求3所述的一種橢圓柔性基底的壓電薄膜傳感器，其特征在于，所述的柔性基底(2)所用的材料為聚二甲基硅氧烷。

6.根據權利要求1或2或5所述的一種橢圓柔性基底的壓電薄膜傳感器，其特征在于，所述的壓電薄膜(1)材質為聚偏氟乙烯。

7.根據權利要求3所述的一種橢圓柔性基底的壓電薄膜傳感器，其特征在于，所述的壓電薄膜(1)材質為聚偏氟乙烯。

8.根據權利要求4所述的一種橢圓柔性基底的壓電薄膜傳感器，其特征在于，所述的壓電薄膜(1)材質為聚偏氟乙烯。