[發明專利]感光性組合物及固化膜的形成方法在審
| 申請號： | 201710987198.0 | 申請日： | 2017-10-20 |
| 公開（公告）號： | CN107976867A | 公開（公告）日： | 2018-05-01 |
| 發明（設計）人： | 山口尚人;竹川昌宏;伊藤陽介 | 申請（專利權）人： | 東京應化工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/027 | 分類號： | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所11256 | 代理人： | 楊宏軍 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 感光性 組合 固化 形成 方法 | ||
【權利要求書】：
1.感光性組合物，其包含堿溶性樹脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引發劑(C)、溶劑(S)、和胺(E)，其中，
所述光聚合引發劑(C)包含肟酯化合物(C1)、和所述肟酯化合物以外的化合物(C2)，
所述感光性組合物中的氯化物離子量為1000質量ppm以下。
2.如權利要求1所述的感光性組合物，所述感光性組合物還包含著色劑(D)。
3.如權利要求1或2所述的感光性組合物，其中，所述感光性組合物中的所述胺(E)的含量為5000質量ppm以下。
4.如權利要求1或2所述的感光性組合物，其中，所述化合物(C2)為選自由烷基苯酮化合物、及咪唑化合物組成的組中的1種以上。
5.固化膜的形成方法，其包括下述工序：
將權利要求1或2所述的感光性組合物涂布于基板上而形成涂布膜的工序；和
將所述涂布膜曝光的工序。
6.如權利要求5所述的固化膜的形成方法，所述形成方法包括：以位置選擇性方式對所述涂布膜進行曝光；進而，
將經曝光的所述涂布膜顯影。
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