[發明專利]一種真空位移調節裝置

在審

• 申請號: 201710986895.4
• 申請日: 2017-10-20
• 公開（公告）號: CN107818814A
• 公開（公告）日: 2018-03-20
• 發明（設計）人: 郜武;魏文
• 申請（專利權）人: 北京雪迪龍科技股份有限公司
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00;F16J15/16
• 代理公司: 北京律和信知識產權代理事務所(普通合伙)11446
• 代理人: 劉國偉,鮑曉芳

1.一種真空位移調節裝置，用于調節真空腔內零件的位置，其特征在于，包括調整桿、母盤、轉桿、子盤和第一動密封；

所述第一動密封固定在所述真空腔的側壁上；

所述調整桿可旋轉的穿過所述第一動密封，其頂端設有主動齒輪；

所述母盤可旋轉的安裝在所述調整桿上；

所述子盤由所述轉桿支撐，所述轉桿的一端連接所述母盤，另一端連接所述子盤；

所述子盤上設有從動齒輪，所述從動齒輪與所述主動齒輪捏合。

2.根據權利要求1所述的真空位移調節裝置，其特征在于，所述母盤上設有軸承孔；所述子盤的中心處固定所述轉桿，所述轉桿沿所述子盤軸線延伸，通過第一軸承可旋轉的安裝在所述母盤的軸承孔上。

3.根據權利要求2所述的真空位移調節裝置，其特征在于，所述調整桿包括母桿和子桿；

所述母桿為管狀，設有子桿孔，可旋轉的穿過所述第一動密封，所述母桿的頂端與所述母盤固定連接；

所述子桿套入所述母桿的子桿孔，頂端設有所述主動齒輪，底端延伸出所述真空腔外；

所述母桿與所述子桿之間設有第二動密封。

4.根據權利要求3所述的真空位移調節裝置，其特征在于，所述第二動密封的數量為兩個。

5.根據權利要求2所述的真空位移調節裝置，其特征在于，還包括棘輪機構和推力軸承，所述棘輪機構包括相互配合的棘輪和棘爪；

所述母盤的中心處設有中心孔，所述棘輪安裝在所述中心孔內，所述棘爪固定安裝在所述調整桿上；

所述推力軸承安裝在所述中心孔內，位于所述調整桿與母盤之間。

6.根據權利要求2所述的真空位移調節裝置，其特征在于，還包括壓緊套，所述母盤的中心處設有壓緊套孔，所述壓緊套位于所述壓緊套孔內，所述調整桿穿過所述壓緊套；

所述母盤的底部固定有定位鍵，所述真空腔的內壁上固定有與所述定位鍵配合的定位卡槽。

7.根據權利要求1所述的真空位移調節裝置，其特征在于，所述轉桿包括豎直部和傾斜部，所述豎直部與所述傾斜部固定連接；

所述豎直部的底端與母盤固定連接，所述子盤通過第二軸承可旋轉的安裝在所述傾斜部上。

8.根據權利要求7所述的真空位移調節裝置，其特征在于，所述調整桿與所述轉桿的傾斜部之間的夾角為10～60°。