[發明專利]感光性組合物、感光性組合物的制造方法、光聚合引發劑、及光聚合引發劑的制備方法有效
| 申請號: | 201710986556.6 | 申請日: | 2017-10-20 |
| 公開(公告)號: | CN107976866B | 公開(公告)日: | 2021-05-04 |
| 發明(設計)人: | 山口尚人;野田國宏 | 申請(專利權)人: | 東京應化工業株式會社 |
| 主分類號: | G03F7/027 | 分類號: | G03F7/027;G03F7/004;C08F2/48 |
| 代理公司: | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人: | 楊宏軍 |
| 地址: | 日本神*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 感光性 組合 制造 方法 聚合 引發 制備 | ||
1.感光性組合物,其包含光聚合性化合物(A)、光聚合引發劑(B)、和溶劑(S),
所述光聚合引發劑(B)包含下述式(1)表示的化合物,
所述感光性組合物中的下述式(2)表示的羧酸的含量相對于所述光聚合引發劑(B)的質量與所述式(2)表示的羧酸的質量的總計而言為550質量ppb以下,
所述感光性組合物中的水分的量相對于所述感光性組合物整體而言為0.1質量%以下,
式(1)中,R1、R2和R3各自獨立地為具有與碳原子鍵合的化學鍵的1價的有機基團,
R3COOH……(2)
式(2)中,R3與上文所述相同。
2.如權利要求1所述的感光性組合物,所述感光性組合物還包含堿溶性樹脂(C)。
3.感光性組合物的制造方法,其包括將光聚合性化合物(A)和光聚合引發劑(B)溶解于溶劑(S)的步驟,其中,
所述光聚合引發劑(B)包含下述式(1)表示的化合物,
溶解于所述溶劑(S)中的所述光聚合引發劑(B)所附帶的水分的量相對于所述光聚合引發劑(B)的質量與水分的質量的總計而言為1質量%以下,
所述光聚合引發劑(B)所附帶的水分的量是在固體形態的所述光聚合引發劑(B)的表面上附著的水分、和以分子水平被包含在光聚合引發劑(B)中的水分的總量,
所述以分子水平被包含在光聚合引發劑(B)中的水分為基于水合的水分,
式(1)中,R1、R2和R3各自獨立地為具有與碳原子鍵合的化學鍵的1價的有機基團。
4.如權利要求3所述的方法,其中,還將堿溶性樹脂(C)溶解于溶劑(S)。
5.如權利要求3或4所述的方法,其中,溶解于所述溶劑(S)中的所述光聚合引發劑(B)所附帶的下述式(2)表示的羧酸的含量相對于所述光聚合引發劑(B)的質量與所述式(2)表示的羧酸的質量的總計而言為550質量ppb以下,
R3COOH……(2)
式(2)中,R3與上文所述相同。
6.如權利要求3或4所述的方法,所述方法包括下述步驟:
在不使所述光聚合引發劑(B)發生熱分解的溫度下,在遮光下將所述光聚合引發劑(B)干燥。
7.光聚合引發劑,其包含下述式(1)表示的化合物,
所述光聚合引發劑所附帶的水分的量相對于所述光聚合引發劑的質量與所述水分的質量的總計而言為1質量%以下,
所述光聚合引發劑所附帶的水分的量是在固體形態的所述光聚合引發劑的表面上附著的水分、和以分子水平被包含在光聚合引發劑中的水分的總量,
所述以分子水平被包含在光聚合引發劑中的水分為基于水合的水分,
所述光聚合引發劑所附帶的下述式(2)表示的羧酸的含量相對于所述光聚合引發劑的質量與所述式(2)表示的羧酸的質量的總計而言為550質量ppb以下,
式(1)中,R1、R2和R3各自獨立地為具有與碳原子鍵合的化學鍵的1價的有機基團,
R3COOH……(2)
式(2)中,R3與上文所述相同。
8.權利要求7所述的光聚合引發劑的制備方法,其包括下述步驟:
在不使所述光聚合引發劑(B)發生熱分解的溫度下,在遮光下將所述光聚合引發劑(B)干燥。
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