[發明專利]復合材料密封件表面粗糙度檢測用光纖型零差干涉系統

在審

• 申請號: 201710986296.2
• 申請日: 2017-10-20
• 公開（公告）號: CN107806841A
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 尚建華;程小勁;黃燕杰
• 申請（專利權）人: 東華大學
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30;G01B9/06
• 代理公司: 上海泰能知識產權代理事務所31233
• 代理人: 宋纓,錢文斌

1.一種復合材料密封件表面粗糙度檢測用光纖型零差干涉系統，其特征在于，包括待測密封件裝調定位模塊、光學干涉檢測模塊和密封件表面粗糙度信息提取模塊；所述待測密封件裝調定位模塊用于對待測密封件進行定位和調節，使得所述光學干涉檢測模塊能夠檢測到待測密封件上的各個測量點；所述光學干涉檢測模塊用于對待測密封件上的各個測量點進行檢測，以得到攜帶有待測密封件表面粗糙度特征信息；所述密封件表面粗糙度信息提取模塊用于提取待測密封件表面粗糙度特征信息，以獲得待測密封件表面的粗糙度分布情況及其微觀形貌圖。

2.根據權利要求1所述的復合材料密封件表面粗糙度檢測用光纖型零差干涉系統，其特征在于，所述待測密封件裝調定位模塊包括裝調夾具、二維高精度位移平臺和位移平臺驅動器，所述裝調夾具將待測密封件固定在二維高精度位移平臺上，使得待測密封件表面與光學干涉檢測模塊的發射的激光基本垂直，所述位移平臺驅動器用于輸出信號控制二維高精度位移平臺移動使得光學干涉檢測模塊能夠對待測密封件表面的各測量點進行檢測。

3.根據權利要求1所述的復合材料密封件表面粗糙度檢測用光纖型零差干涉系統，其特征在于，所述光學干涉檢測模塊包括激光器、光纖隔離器、光纖分束器、光纖環形器、光纖檢偏器、望遠鏡和光纖耦合器；所述激光器輸出的激光經光纖隔離器和光纖分束器作用后，分為信號光和參考光兩路信號；其中，信號光經光纖環形器、光纖檢偏器和望遠鏡垂直入射到待測密封件的表面獲取各測量點的光學特征信息，返回的信號光經所述望遠鏡和光纖檢偏器再與參考光一同經光纖耦合器作用，輸出帶有待測密封件表面粗糙度特征信息的光信號。

4.根據權利要求3所述的復合材料密封件表面粗糙度檢測用光纖型零差干涉系統，其特征在于，所述激光器為工作波長為630nm的連續輸出半導體激光器。

5.根據權利要求1所述的復合材料密封件表面粗糙度檢測用光纖型零差干涉系統，其特征在于，所述密封件表面粗糙度信息提取模塊包括光電探測器、低通濾波器、放大器、數據采集卡和計算機，所述光電探測器接收光學干涉檢測模塊的輸出的光信號并將其轉換為電信號，該電信號攜帶有待測密封件表面粗糙度特征信息，所述電信號經低通濾波器和放大器處理后，由數據采集卡轉換為數字信號傳輸到計算機內部，并在計算機內執行表面形貌處理算法，最終獲得待測密封件表面的粗糙度分布情況和微觀形貌圖。

6.根據權利要求1所述的復合材料密封件表面粗糙度檢測用光纖型零差干涉系統，其特征在于，所述光學干涉檢測模塊中的光信號通過單模光纖傳輸。