[發明專利]微發光二極管的生長和轉運設備及轉運方法

有效

• 申請號: 201710986144.2
• 申請日: 2017-10-20
• 公開（公告）號: CN107644927B
• 公開（公告）日: 2020-01-31
• 發明（設計）人: 高超民;丁淵;李飛
• 申請（專利權）人: 上海天馬微電子有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00
• 代理公司: 11444 北京匯思誠業知識產權代理有限公司
• 代理人: 王剛;龔敏

本申請涉及顯示技術領域，尤其涉及一種微發光二極管的生長和轉運設備，包括生長基底、多個微發光二極管、保護層、轉運基底以及拾取層，多個微發光二極管中，一部分所述微發光二極管為待轉運部分，其余部分為非轉運部分；所述保護層覆蓋所述非轉運部分；所述拾取層設置于所述轉運基底的一側的整面，所述拾取層至少具有垂直于所述轉運基底的方向的彈性力，所述拾取層具有拾取所述待轉運部分的拾取力。本申請能夠適應不同陣列排布的待轉運的微發光二極管，從而節省了生長和轉運設備的制造成本。

技術領域

本申請涉及顯示技術領域，尤其涉及一種微發光二極管的生長和轉運設備及轉運方法。

背景技術

微發光二極管(Micro-LED)是一種尺寸在幾微米到幾百微米之間的器件，由于其較普通LED的尺寸要小很多，能夠將相鄰兩個像素點之間距離從毫米級降低至微米級，因此，利用微發光二極管陣列實現微型的顯示面板成為可能。

微型的顯示面板的制作方法，先在供給基板的生長基底上直接形成微發光二極管陣列，通常，微發光二極管陣列中的各微發光二極管靠近生長基底的一側的面積大于另一側的面積；然后通過轉運頭將微發光二極管轉印至接收基板上，對接收基板進行封裝，形成微顯示面板。

由于現有的這種微發光二極管靠近生長基底一側的面積較另一側大，因此，各微發光二極管與生長基底的粘結力比較均衡，因此與其相適配的轉運頭通常在剛性基底上形成多個凸起，多個凸起與各待轉運的微發光二極管一一對應，以將待轉運的微發光二極管轉印。顯然，在轉運不同陣列排布的微發光二極管時，轉運頭上的凸起設置不同，需要制作不同的轉運頭，增加了制作成本。

發明內容

本申請提供了一種微發光二極管的生長和轉運設備及轉運方法，能夠解決上述問題。

本申請的第一方面提供了一種微發光二極管的生長和轉運設備，包括：

生長基底，

多個微發光二極管，其中，一部分所述微發光二極管為待轉運部分，其余部分為非轉運部分；

保護層，所述保護層覆蓋所述非轉運部分；

轉運基底，

拾取層，設置于所述轉運基底的一側的整面，所述拾取層至少具有垂直于所述轉運基底的方向的彈性力，所述拾取層具有拾取所述待轉運部分的拾取力。

優選地，各所述微發光二極管包括本體和連接部，所述本體通過所述連接部形成于所述生長基底的一側，且沿垂直于所述生長基底的方向，各所述本體與所述生長基底之間留有間隙；

還包括支撐層，所述支撐層填充所述非轉運部分中的所述本體與所述生長基底之間的所述間隙。

優選地，所述連接部與所述本體一次成型。

優選地，所述本體的厚度較所述連接部的厚度大，所述厚度所在的方向垂直于所述生長基底。

優選地，所述保護層的材質為金屬和光刻膠中的至少一種。

優選地，所述拾取層具有變形狀態和非變形狀態，在所述非變形狀態，所述拾取層的最小厚度大于所述保護層遠離所述生長基底的一面與所述微發光二極管遠離所述生長基底的一面之間的距離，所述厚度所在的方向垂直于所述生長基底。

本申請的第二方面提供了一種利用上述任一項所述的生長和轉運設備轉運微發光二極管的方法，包括：

在生長基底的一側形成多個微發光二極管；

在多個微發光二極管遠離所述生長基底的一側形成第一膜層；

圖案化所述第一膜層，暴露待轉運的所述微發光二極管；

在轉運基底上整面形成拾取層，所述拾取層具有彈性力；