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[發明專利]一種基于晶體硅金剛線切割廢料的硅添加劑及制備方法有效

專利信息
申請號: 201710985566.8 申請日: 2017-10-20
公開(公告)號: CN107746979B 公開(公告)日: 2019-04-16
發明(設計)人: 邢鵬飛;魏冬卉;金星;孔劍;都興紅;馮忠寶 申請(專利權)人: 東北大學
主分類號: C22C1/02 分類號: C22C1/02;C22C21/00
代理公司: 大連理工大學專利中心 21200 代理人: 陳玲玉;梅洪玉
地址: 110169 遼*** 國省代碼: 遼寧;21
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 線切割廢料 晶體硅 硅添加劑 金屬鋁粉 粘結劑 溶劑 制備 含硅鋁合金 重量百分比 硅片切割 加水混合 工藝流程 壓塊機 稱取 烘干 中壓 資源利用 生產成本 成型 生產
【權利要求書】:

1.一種基于晶體硅金剛線切割廢料的硅添加劑,其特征在于,其組分包括晶體硅的金剛線切割廢料和溶劑,還包括質量百分比不超過10%的金屬鋁粉,其粒度為0.2~0.8mm;其中以質量百分比計,溶劑占5~30%,其余為硅的金剛線切割廢料;所述的溶劑為氟鋁酸鈉、氟鋁酸鉀、氟硼酸鉀、氟硅酸鈉、氟化鈣、氟化鎂、氟化鋁、氟化鈉中的一種或多種,或為氯化鈉、氯化鉀、氯化鎂、氯化鋇中的一種或多種。

2.根據權利要求1所述的一種基于晶體硅金剛線切割廢料的硅添加劑,其特征在于,還包括質量百分比不超過10%的粘結劑,所述的粘結劑為油脂、纖維素、聚乙烯醇、聚丙烯酸中的一種或多種。

3.權利要求1或2所述的基于晶體硅金剛線切割廢料的硅添加劑的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

步驟1,對晶體硅的金剛線切割廢料組分進行雜質元素的測定,經計算后,若所含的雜質含量超過目標要求雜質含量限度,則對晶體硅的金剛線切割廢料進行酸洗除雜;若所含的雜質含量未超過目標要求雜質含量限度,則將晶體硅的金剛線切割廢料直接應用;

步驟2,按質量百分比稱取各組分,并配入水,混合均勻;所述水的配入量占物料總量5~40%;

步驟3,將混合后的物料壓塊成型,烘干后即得到基于晶體硅金剛線切割廢料的硅添加劑。

4.根據權利要求3所述的基于晶體硅金剛線切割廢料的硅添加劑的制備方法,其特征在于,所述的酸洗除雜,采用的酸為鹽酸、硫酸或氫氟酸中的一種或幾種;酸洗條件為:酸濃度5~50%,酸洗溫度20~90℃,酸洗時間30~300min,固液比1:2~1:10。

5.根據權利要求3或4所述的基于晶體硅金剛線切割廢料的硅添加劑的制備方法,其特征在于,步驟3中,所述的壓塊成型工藝采用模壓成型或冷等靜壓成型;壓塊成型所用壓力為120~600MPa,保壓時間為60~300s。

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