[發明專利]一種Nb2O5摻雜TiO2的制備工藝在審
| 申請號: | 201710980908.7 | 申請日: | 2017-10-18 |
| 公開(公告)號: | CN109678492A | 公開(公告)日: | 2019-04-26 |
| 發明(設計)人: | 王晨;凌奇;楊海濤 | 申請(專利權)人: | 深圳大學 |
| 主分類號: | C04B35/46 | 分類號: | C04B35/46;C04B35/622;C23C14/34 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518060 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 摻雜 制備工藝 薄膜太陽能電池 材料制備工藝 濺射鍍膜靶材 非金屬元素 充分混合 燒結 電阻率 抗彎 制備 應用 | ||
【權利要求書】:
1.一種Nb2O5摻雜TiO2的制備工藝,實驗采用球磨-卸料-干燥-過篩-放電等離子燒結的制備工藝流程,可制備出密度達4.19g/cm3,抗彎強度大于139MPa,電阻率小于1.3×10-2Ω·cm的高性能靶材。
2.利用權利要求1所述Nb2O5摻雜TiO2粉體制備的材料,可制成各種復雜形狀的制品,主要是濺射鍍膜用的靶材(包括平面靶和旋轉靶),也可用于制造其它多種導電零部件。
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