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[發明專利]一種Nb2O5摻雜TiO2的制備工藝在審

專利信息
申請號: 201710980908.7 申請日: 2017-10-18
公開(公告)號: CN109678492A 公開(公告)日: 2019-04-26
發明(設計)人: 王晨;凌奇;楊海濤 申請(專利權)人: 深圳大學
主分類號: C04B35/46 分類號: C04B35/46;C04B35/622;C23C14/34
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 518060 廣東*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 摻雜 制備工藝 薄膜太陽能電池 材料制備工藝 濺射鍍膜靶材 非金屬元素 充分混合 燒結 電阻率 抗彎 制備 應用
【權利要求書】:

1.一種Nb2O5摻雜TiO2的制備工藝,實驗采用球磨-卸料-干燥-過篩-放電等離子燒結的制備工藝流程,可制備出密度達4.19g/cm3,抗彎強度大于139MPa,電阻率小于1.3×10-2Ω·cm的高性能靶材。

2.利用權利要求1所述Nb2O5摻雜TiO2粉體制備的材料,可制成各種復雜形狀的制品,主要是濺射鍍膜用的靶材(包括平面靶和旋轉靶),也可用于制造其它多種導電零部件。

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