[發明專利]用于彩膜基板的色阻材料及彩膜基板色阻圖案的制備方法有效
| 申請號: | 201710980441.6 | 申請日: | 2017-10-19 |
| 公開(公告)號: | CN107608179B | 公開(公告)日: | 2020-11-13 |
| 發明(設計)人: | 牟廣營 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/004 | 分類號: | G03F7/004;G03F7/027;G02F1/1335;G02B5/22 |
| 代理公司: | 北京律智知識產權代理有限公司 11438 | 代理人: | 袁禮君;王衛忠 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 彩膜基板 材料 彩膜基板色阻 圖案 制備 方法 | ||
1.一種用于彩膜基板的色阻材料,包括:
多官能團單體,所述多官能團單體包括二乙烯基苯單體和丙烯酸酯,所述二乙烯基苯單體與所述丙烯酸酯的質量比為1:0至1:1;
還包括樹脂、光引發劑、顏料、顏料分散劑、溶劑和添加劑;
在所述色阻材料中,所述樹脂的質量占色阻材料總質量的比重為5-8%,所述多官能團單體的質量占色阻材料總質量的比重為5-8%,所述光引發劑的質量占色阻材料總質量的比重為0.2-0.6%,所述顏料的質量占色阻材料總質量的比重為5-8%,所述顏料分散劑的質量占色阻材料總質量的比重為5-8%,所述溶劑的質量占色阻材料總質量的比重為67-78%;所述添加劑的質量占色阻材料總質量的比重為0.1-0.4%;
所述丙烯酸酯包括季戊四醇三丙烯酸酯(PETA)、季戊四醇四丙烯酸酯(PETA)、聚二季戊四醇五丙烯酸酯(DPEPA)和六丙烯酸酯(DPHA)中的任意一種或多種。
2.如權利要求1所述的用于彩膜基板的色阻材料,其中所述樹脂包括甲基丙烯酸甲酯(MMA)劑甲基丙烯酸丁酯(BMA)中的一種或組合,和/或所述溶劑包括丙二醇甲醚。
3.如權利要求1所述的用于彩膜基板的色阻材料,其中所述光引發劑包括Benzophenone或S-triazine,和/或所述添加劑包括硅烷偶聯劑。
4.如權利要求1所述的用于彩膜基板的色阻材料,其中所述顏料包括綠色顏料,和/或所述顏料分散劑包括高分子分散劑。
5.一種彩膜基板的色阻圖案的制備方法,包括:
制備包括多官能團單體的色阻材料溶液,所述多官能團單體包括二乙烯基苯單體和丙烯酸酯,所述二乙烯基苯單體與所述丙烯酸酯的質量比為1:0至1:1;以及
將制備的所述色阻材料溶液固定在所述彩膜基板上得到色阻圖案;
制備包括多官能團單體的色阻材料溶液包括將多官能團單體、樹脂、光引發劑、顏料、顏料分散劑、溶劑和添加劑混合;
在所述色阻材料中,所述樹脂的質量占色阻材料總質量的比重為5-8%,所述多官能團單體的質量占色阻材料總質量的比重為5-8%,所述光引發劑的質量占色阻材料總質量的比重為0.2-0.6%,所述顏料的質量占色阻材料總質量的比重為5-8%,所述顏料分散劑的質量占色阻材料總質量的比重為5-8%,所述溶劑的質量占色阻材料總質量的比重為67-78%;所述添加劑的質量占色阻材料總質量的比重為0.1-0.4%;
所述丙烯酸酯包括季戊四醇三丙烯酸酯(PETA)、季戊四醇四丙烯酸酯(PETA)、聚二季戊四醇五丙烯酸酯(DPEPA)和六丙烯酸酯(DPHA)中的任意一種或多種。
6.如權利要求5所述的彩膜基板的色阻圖案的制備方法,其中將制備的所述色阻材料溶液固定在所述彩膜基板上得到色阻圖案包括固化、曝光、顯影和后烘步驟,所述固化包括在80-100℃的溫度下固化80-120秒,然后在20-30℃的溫度下固化30-80秒;所述曝光的光照強度為60-200mJ/cm2,時間為10-60秒,光源距離所述色阻圖案為200-350μm;所述顯影的顯影液為0.04%-0.05%KOH溶液,時間為50-100秒;所述后烘的溫度為80-250℃,時間為5-30分鐘。
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