[發明專利]負載傳感器

在審

• 申請號: 201710977328.2
• 申請日: 2017-10-19
• 公開（公告）號: CN107966168A
• 公開（公告）日: 2018-04-27
• 發明（設計）人: 宮澤冬樹;小山勝弘;松田勛;萩原康仁;浜本貴樹
• 申請（專利權）人: 太陽誘電株式會社
• 主分類號: G01D5/34
• 分類號: G01D5/34;G01B11/16
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 龍淳,季向岡

1.一種負載傳感器，其特征在于，包括：

形變體，其具有第一端部、與所述第一端部在一個軸方向上相對的第二端部、設置在所述第一端部與所述第二端部之間的中空部；

固定在所述第一端部的、并且配置在所述中空部中的第一光學組件，所述第一光學組件具有光源和來自所述光源的光所入射的第一衍射光柵；

固定在所述第二端部的、并且配置在所述中空部中的第二光學組件，所述第二光學組件具有因從所述第一衍射光柵射出的衍射光入射而生成干涉光的第二衍射光柵；

檢測所述干涉光的檢測器；和

運算部，其基于通過所述檢測器得到的信號來計算所述第二衍射光柵相對所述第一衍射光柵的相對位移量。

2.如權利要求1所述的負載傳感器，其特征在于：

所述第一衍射光柵和所述第二衍射光柵分別配置在通過所述中空部的中心并且與所述一個軸方向平行的中心軸上。

3.如權利要求2所述的負載傳感器，其特征在于：

還包括固定在所述第二端部的、用于載置要測量重量的對象物體的載置臺，

所述第一衍射光柵和所述第二衍射光柵配置在所述載置臺的重心的正下方的位置。

4.如權利要求1所述的負載傳感器，其特征在于：

所述第一衍射光柵和所述第二衍射光柵分別配置在從通過所述中空部的中心并且與所述一個軸方向平行的中心軸在所述形變體的寬度方向上偏離了的位置。

5.如權利要求4所述的負載傳感器，其特征在于，還包括：

所述形變體還包括將所述第一端部與所述第二端部彼此連結的、并且隔著所述中空部相對的一對架設部，

所述一對架設部的至少1者在與所述一個軸方向正交的所述形變體的寬度方向上具有不同的厚度。