[發(fā)明專利]微機(jī)械z加速度傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710976930.4
• 申請日: 2017-10-19
• 公開（公告）號: CN107976557B
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: A·皮格勒尼耶;D·古格爾;G-N-C·烏爾希里;M·林克-萊斯卡納;S·京特;T·赫爾
• 申請（專利權(quán)）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01P15/08
• 分類號: G01P15/08;G01P15/18;B81B3/00;B81C1/00;B81B7/02
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 郭毅

1.一種微機(jī)械z加速度傳感器(100)，其具有：

具有扭轉(zhuǎn)彈簧(20)的振動(dòng)質(zhì)量元件(10)；其中，

所述扭轉(zhuǎn)彈簧(20)具有錨固元件(21)，所述扭轉(zhuǎn)彈簧(20)借助所述錨固元件(21)連接到襯底上；其中，

所述扭轉(zhuǎn)彈簧(20)在兩端處借助在所述振動(dòng)質(zhì)量元件(10)的平面內(nèi)法向于所述扭轉(zhuǎn)彈簧(20)構(gòu)造的梁狀連接元件(30)與所述振動(dòng)質(zhì)量元件(10)連接，其中，所述梁狀連接元件(30)設(shè)置在所述扭轉(zhuǎn)彈簧(20)與所述振動(dòng)質(zhì)量元件(10)之間，并且在所述扭轉(zhuǎn)彈簧(20)的兩端處分別在所述梁狀連接元件(30)與所述振動(dòng)質(zhì)量元件(10)之間形成間隙。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)械z加速度傳感器(100)，其特征在于，

所述扭轉(zhuǎn)彈簧(20)比所述連接元件(30)受限定地更軟并且所述連接元件(30)比所述振動(dòng)質(zhì)量元件(10)受限定地更軟。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機(jī)械z加速度傳感器(100)，其特征在于，所述連接元件的寬度是2μm至5μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機(jī)械z加速度傳感器(100)，其特征在于，所述連接元件(30)的長度是100μm至200μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機(jī)械z加速度傳感器(100)，其特征在于，借助模擬方法求取所述連接元件(30)的尺寸。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機(jī)械z加速度傳感器(100)，其特征在于，所述扭轉(zhuǎn)彈簧(20)與所述連接元件(30)之間的過渡區(qū)域(31)受限定地以圓角構(gòu)造。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機(jī)械z加速度傳感器(100)，其特征在于，所述連接元件與所述振動(dòng)質(zhì)量元件(10)以及所述扭轉(zhuǎn)彈簧(20)整體地構(gòu)造。

8.一種用于制造根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的微機(jī)械z加速度傳感器(100)的方法，所述方法具有以下步驟：

構(gòu)造具有扭轉(zhuǎn)彈簧(20)的振動(dòng)質(zhì)量元件(10)；

借助錨固元件(21)將所述扭轉(zhuǎn)彈簧(20)固定在襯底上；其中，

所述扭轉(zhuǎn)彈簧(20)在兩端處借助各一個(gè)連接元件(30)與所述振動(dòng)質(zhì)量元件(10)連接，其中，在所述振動(dòng)質(zhì)量元件(10)的平面內(nèi)法向于所述扭轉(zhuǎn)彈簧(20)梁狀地構(gòu)造所述連接元件(30)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，整體地構(gòu)造所述連接元件與所述振動(dòng)質(zhì)量元件(10)以及所述扭轉(zhuǎn)彈簧(20)。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的方法，其中，比所述連接元件(30)受限定地更軟地構(gòu)造所述扭轉(zhuǎn)彈簧(20)并且比所述振動(dòng)質(zhì)量元件(10)受限定地更軟地構(gòu)造所述連接元件(30)。