[發(fā)明專利]掃描型探針顯微鏡

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710976079.5
• 申請(qǐng)日: 2017-10-19
• 公開（公告）號(hào): CN107966589A
• 公開（公告）日: 2018-04-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小林寬治;平出雅人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社島津制作所
• 主分類號(hào): G01Q30/00
• 分類號(hào): G01Q30/00
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種掃描型探針顯微鏡，其特征在于，具備：

懸臂，其沿著試樣的表面進(jìn)行掃描；

光源，其朝向所述懸臂照射光；

光接收部，其接收來(lái)自所述懸臂的反射光；

分束器，其設(shè)置在從所述光源到所述光接收部的光路上，用于使在該光路上通過(guò)的光反射；

殼體，其至少將所述懸臂和所述分束器收納在內(nèi)部；以及

旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其通過(guò)使所述分束器旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，來(lái)使所述分束器在所述殼體內(nèi)從所述光路上退出，

其中，在所述殼體的上表面形成有用于相向地配置用于觀察試樣的表面的光學(xué)顯微鏡的開口部，

所述分束器在位于所述光路上時(shí)被配置在所述光學(xué)顯微鏡的視場(chǎng)內(nèi)，通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使所述分束器旋轉(zhuǎn)移動(dòng)來(lái)使所述分束器從所述光路上退出，由此所述分束器也從所述光學(xué)顯微鏡的視場(chǎng)內(nèi)退出，

所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具備供用戶在使所述分束器旋轉(zhuǎn)移動(dòng)時(shí)把持的操作部，該操作部設(shè)置于所述殼體中的除上表面以外的側(cè)面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描型探針顯微鏡，其特征在于，

所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具備用于保持所述分束器的保持部以及與所述保持部連結(jié)的軸部，

所述軸部基于所述操作部的操作來(lái)旋轉(zhuǎn)，由此與該軸部連結(jié)的所述保持部同所述分束器一起旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掃描型探針顯微鏡，其特征在于，

所述軸部以其延長(zhǎng)線相對(duì)于所述分束器的中心偏心的方式與所述保持部連結(jié)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任一項(xiàng)所述的掃描型探針顯微鏡，其特征在于，

在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與所述側(cè)面之間設(shè)置有彈性構(gòu)件，該彈性構(gòu)件用于防止所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)晃動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中的任一項(xiàng)所述的掃描型探針顯微鏡，其特征在于，

還具備止動(dòng)件，該止動(dòng)件用于在所述分束器處于位于所述光路上的插入位置和所述分束器處于從所述光路上退出的退出位置時(shí)分別限制所述操作部的旋轉(zhuǎn)位置。