[發明專利]具有叉指型電極的半導體器件

有效

• 申請號: 201710975501.5
• 申請日: 2017-10-16
• 公開（公告）號: CN108428737B
• 公開（公告）日: 2022-06-21
• 發明（設計）人: 李湛明;傅玥;吳衛東;劉雁飛
• 申請（專利權）人: 蘇州量芯微半導體有限公司
• 主分類號: H01L29/41
• 分類號: H01L29/41;H01L29/778
• 代理公司: 北京久誠知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11542
• 代理人: 余罡

1.一種具有叉指型電極的半導體器件，其特征在于：所述半導體器件包括漏級、源極以及多個叉指型電極，所述多個叉指型電極中的每一個叉指型電極具有分別連接到漏級基底和源極基底的兩個交叉的叉指，所述多個叉指型電極中的任意兩個叉指型電極之間具有至少一個半導體導電區域，其中，所述叉指型是非對稱形狀并且所述叉指型的指尖是非直線形狀；

相鄰兩個叉指型電極之間的寬度與另外的相鄰兩個叉指型電極之間的寬度是相同的；或

相鄰兩個叉指型電極之間的寬度與另外的相鄰兩個叉指型電極之間的寬度是不相同的；

所述叉指型的指尖連線與源極或者漏級的基底形成一直角三角形，所述直角三角形具有固定角度θ，所述相鄰兩個叉指型電極之間的所述寬度是由所述固定角度θ確定的。

2.根據權利要求1所述的半導體器件，其特征在于：所述非直線形狀是橢圓形、圓形或者由指數小于2的冪函數確定的形狀。

3.根據權利要求1所述的半導體器件，其特征在于：半導體器件還包括至少一個控制電極，所述控制電極連接導電溝道，所述控制電極能夠開啟或者斷開所述導電溝道。

4.根據權利要求1所述的半導體器件，其特征在于：所述相鄰兩個叉指型電極之間的所述寬度是由從一個所述叉指型電極到另一個所述叉指型電極的電流的流量比率確定的。

5.根據權利要求1所述的半導體器件，其特征在于：所述叉指型的指尖連線與源極或者漏級的基底形成一直角三角形，并且在所述直角三角形的兩個或三個角上存在所述叉指型電極。