[發明專利]一種基于MEMS壓力傳感器的亞微米精度氣動微距儀

在審

• 申請號: 201710974939.1
• 申請日: 2017-10-19
• 公開（公告）號: CN107607252A
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發明（設計）人: 孫明;趙善文
• 申請（專利權）人: 西安五湖智聯半導體有限公司
• 主分類號: G01L9/00
• 分類號: G01L9/00;G01B21/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于MEMS壓力傳感器的亞微米精度氣動微距儀，包括殼體，其特征在于：所述殼體內設置有氣腔單元、氣壓采集單元、信號處理單元、顯示單元和發送單元,所述氣腔單元前端設置有進氣孔，后端設置有出氣孔、分壓出氣孔和漏氣孔，所述各孔分別通過氣路與氣壓采集單元相連，所述氣壓采集單元包括一組MEMS壓力傳感器，所述MEMS壓力傳感器通過采集進氣孔、出氣孔和分壓出氣孔的氣壓，信號處理單元根據進氣孔的氣壓值出氣孔和分壓出氣孔的壓差計算出待測距離數值，并通過顯示單元和發送單元顯示和輸出測量數據和計算結果。

2.如權利要求1所述的亞微米精度氣動微距儀，其特征在于：所述信號處理單元包括中央處理器和外圍電路，通過與MEMS壓力傳感器通訊控制并接收、轉化采集的各氣壓數據，并依照設定的數學模型進行運算。

3.如權利要求2所述的亞微米精度氣動微距儀，其特征在于：所述信號處理單元通過與顯示單元和發送單元通訊，進行運算結果的顯示和輸出。

4.如權利要求3所述的亞微米精度氣動微距儀，其特征在于：所述顯示單元包括顯示屏及周邊電路，用于將壓力和測量數據的顯示。

5.如權利要求4所述的亞微米精度氣動微距儀，其特征在于：所述發送單元包括編碼和通訊電路，用于將測量數據及測量運算結果的輸出，以及與外部設備交互數據。

6.如權利要求5所述的亞微米精度氣動微距儀，其特征在于：所述氣腔單元、氣壓采集單元、信號處理單元、顯示單元和發送單元分別封裝在殼體內。

7.如權利要求6所述的亞微米精度氣動微距儀，其特征在于：所述氣腔單元為分離式的分壓腔體，分壓腔體內的進氣壓力隨出氣孔、分壓出氣孔和漏氣孔的分布位置的不同以及各孔徑的差異自行分配壓力。

8.如權利要求7所述的亞微米精度氣動微距儀，其特征在于：所述漏氣孔為非平衡漏氣結構,并與大氣直通。