[發明專利]晶圓支承裝置以及晶圓處理裝置

在審

• 申請號: 201710974318.3
• 申請日: 2017-10-19
• 公開（公告）號: CN107978542A
• 公開（公告）日: 2018-05-01
• 發明（設計）人: 古閑哲二;原田康之
• 申請（專利權）人: 普雷帝克股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京京萬通知識產權代理有限公司11440
• 代理人: 許天易

1.一種晶圓支承裝置，其水平地支承晶圓，并使所支承的該晶圓可為旋轉，該晶圓支承裝置包含：

桌臺，將該晶圓支承于上方；

多夾持銷，于該桌臺的上表面以圍繞于該晶圓的方式而配置，而與該晶圓的側面接觸，且自側面可為支承該晶圓；

夾持銷旋轉機構，以貫通該桌臺的上表面的方式配設于該桌臺內，可為旋轉且該夾持銷在該夾持銷旋轉機構的上部以相對于旋轉軸而偏心地立設；

制動機構，可為制動該夾持銷旋轉機構的旋轉；以及

桌臺支撐軸，自下方支撐該桌臺，得以使該桌臺旋轉，

其中該夾持銷旋轉機構旋轉，偏心地立設于該夾持銷旋轉機構的多夾持銷而以接觸該晶圓的側面的方式繞該夾持銷旋轉機構的旋轉軸公轉移動而自側面支承該晶圓且在該支承之后該制動機構制動該夾持銷旋轉機構的旋轉，借以固定該夾持銷。

2.如權利要求1所述的晶圓支承裝置，其中該夾持銷旋轉機構具有與配設于該桌臺內的傳動齒輪相嚙合的夾持驅動齒輪，通過該傳動齒輪的旋轉而使該夾持驅動齒輪旋轉，而使該夾持銷旋轉機構旋轉。

3.如權利要求1所述的晶圓支承裝置，其中該傳動齒輪具有孔洞，該制動機構通過制動銷穿入至該傳動齒輪的孔洞，而固定該傳動齒輪，得以制動該夾持銷旋轉機構的旋轉。

4.如權利要求2所述的晶圓支承裝置，其中該傳動齒輪具有孔洞，該制動機構通過制動銷穿入至該傳動齒輪的孔洞，而固定該傳動齒輪，得以制動該夾持銷旋轉機構的旋轉。

5.如權利要求3所述的晶圓支承裝置，更具有通過自該傳動齒輪的孔洞下方向上頂入而得以將該制動銷自孔洞移除的上頂栓，透過該上頂栓，即得以在該晶圓的固定及固定解除時，通過將該制動銷自該傳動齒輪的孔洞移除，而解除該夾持銷的固定。

6.如權利要求4所述的晶圓支承裝置，更具有通過自該傳動齒輪的孔洞下方向上頂入而得以將該制動銷自孔洞移除的上頂栓，透過該上頂栓，即得以在該晶圓的固定及固定解除時，通過將該制動銷自該傳動齒輪的孔洞移除，而解除該夾持銷的固定。

7.一種晶圓處理裝置，其中如權利要求1至6中任一項所述的晶圓支承裝置的該桌臺具備有容納于內部的腔室。

8.如權利要求7所述的晶圓處理裝置，其中該晶圓處理裝置為單片旋轉式的濕式處理裝置。

9.如權利要求7所述的晶圓處理裝置，其中該晶圓處理裝置為晶圓的洗凈處理裝置、旋轉蝕刻處理裝置、旋轉涂覆處理裝置、光阻剝離處理裝置及聚合物移除處理裝置中任一者。

10.如權利要求8所述的晶圓處理裝置，其中該晶圓處理裝置為晶圓的洗凈處理裝置、旋轉蝕刻處理裝置、旋轉涂覆處理裝置、光阻剝離處理裝置及聚合物移除處理裝置中任一者。