[發明專利]靜電容量型換能器系統、靜電容量型換能器及聲音傳感器

在審

• 申請號: 201710970853.1
• 申請日: 2017-10-18
• 公開（公告）號: CN108174333A
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發明（設計）人: 內田雄喜
• 申請（專利權）人: 歐姆龍株式會社
• 主分類號: H04R19/00
• 分類號: H04R19/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 張晉逾

1.一種靜電容量型換能器系統，其特征在于，

具有第一固定電極和第二固定電極這兩個固定電極、和以在其與所述第一固定電極及所述第二固定電極之間經由空隙而與兩者對置的方式配設的振動電極，

由所述第一固定電極和所述振動電極構成第一電容器，并且，由所述第二固定電極和與所述第一電容器共通的所述振動電極構成第二電容器，

該靜電容量型換能器系統具備：

靜電容量型換能器，其將所述振動電極的變形轉換成所述第一電容器和所述第二電容器的靜電容量的變化；以及

控制部，其對向所述第一電容器及所述第二電容器的供給電壓和/或基于所述第一電容器和所述第二電容器的靜電容量的變化的信號進行處理，

其中，基于所述第一電容器和所述第二電容器的靜電容量的變化的信號向相互抵消的方向進行加減，

所述第一固定電極是具有開口的半導體基板，

所述第二固定電極是形成于背板上的固定電極膜，所述背板以與所述半導體基板的開口對置的方式配設并且具有空氣可通過的聲孔，

所述振動電極是以與所述背板和所述半導體基板各自經由空隙而對置的方式配設于所述背板和所述半導體基板之間的振動電極膜。

2.根據權利要求1所述的靜電容量型換能器系統，其特征在于，

以基于所述第一電容器的靜電容量的變化的信號的電平和基于所述第二電容器的靜電容量的變化的信號的電平互不相同，且所述第一電容器的噪聲電平和所述第二電容器的噪聲電平相同的方式，來決定所述第一固定電極、所述第二固定電極及所述振動電極的電極面積、電極位置、電極間間隙、供給電壓、增益的至少一個值。

3.根據權利要求1所述的靜電容量型換能器系統，其特征在于，

所述半導體基板的表面為導電性、或者所述半導體基板由導電性材料形成。

4.根據權利要求1所述的靜電容量型換能器系統，其特征在于，

在所述半導體基板的與所述振動電極膜對置的部分的表面形成有固定電極膜。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的靜電容量型換能器系統，其特征在于，

在所述振動電極膜上設置有在該振動電極膜向所述半導體基板側變形時與該半導體基板接觸的止動件，

在該止動件的所述半導體基板側的前端設置有由絕緣體構成的絕緣部。

6.根據權利要求1～4中任一項所述的靜電容量型換能器系統，其特征在于，

基于所述第一電容器的靜電容量的變化的信號的信號線和基于所述第二電容器的靜電容量的變化的信號的信號線被電連接，從而

基于所述第一電容器和所述第二電容器各自的靜電容量的變化的信號向相互抵消的方向進行加減。

7.根據權利要求1～4中任一項所述的靜電容量型換能器系統，其特征在于，

基于所述第一電容器的靜電容量的變化的信號和基于所述第二電容器的靜電容量的變化的信號在所述控制部向相互抵消的方向進行加減運算。

8.根據權利要求1或2所述的靜電容量型換能器系統，其特征在于，

所述靜電容量型換能器具有：

半導體基板，其具有開口；

背板，其以與所述半導體基板的開口對置的方式配設并且具有空氣可通過的聲孔；以及

振動電極膜，其以在其與所述背板之間經由空隙而與該背板對置的方式配設，

所述第一固定電極及所述第二固定電極通過將形成于所述背板的固定電極膜進行分割而形成，

所述振動電極是所述振動電極膜，

基于所述第一電容器的靜電容量的變化的信號和基于所述第二電容器的靜電容量的變化的信號，在所述控制部向相互抵消的方向進行加減運算。

9.一種聲音傳感器，其具有權利要求1～8中任一項所述的靜電容量型換能器系統，其檢測聲壓。