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[發明專利]緊湊型高頻電聚焦混合加速腔在審

專利信息
申請號: 201710967331.6 申請日: 2017-10-17
公開(公告)號: CN107896415A 公開(公告)日: 2018-04-10
發明(設計)人: 何源;王志軍 申請(專利權)人: 中國科學院近代物理研究所
主分類號: H05H7/00 分類號: H05H7/00
代理公司: 蘭州振華專利代理有限責任公司62102 代理人: 張真
地址: 730000 甘*** 國省代碼: 甘肅;62
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 緊湊型 高頻 聚焦 混合 加速
【權利要求書】:

1.一種緊湊型高頻電聚焦混合加速腔,其特征在于包括有在腔筒內,在漂移管加速與高頻電四極聚焦加速結構的前端設有射頻四極加速結構,在漂移管加速與高頻電四極聚焦加速結構的中心設有第二加速間隙,射頻四極加速結構的中心設有第一加速間隙,第一加速間隙與第二加速間隙在同一條中心線上,第一加速間隙比第二加速間隙的半徑小0-5mm。

2.如權利要求1所述的緊湊型高頻電聚焦混合加速腔,其特征在于還包括有在射頻四極加速結構內設有互為垂直的四個第一電極板,電極板的端面設有正弦或T型的電極調制線;調制線橫截面為雙曲線型,相對第一電極板之間的最小半徑為2.5-5mm,最大半徑為4-30mm。

3.如權利要求1所述的緊湊型高頻電聚焦混合加速腔,其特征在于還包括有所述的漂移管加速與高頻電四極聚焦加速結構內設有互為垂直的四個第二電極板。

4.如權利要求1所述的緊湊型高頻電聚焦混合加速腔,其特征在于還包括有所述的漂移管加速與高頻電四極聚焦加速結構內設有多個漂移管,通過漂移管支撐桿固連于相對兩個第二電極板之間,高頻電四極透鏡分布于漂移管之間;多個漂移管、高頻電四極透鏡與第二加速間隙在同一個中心線上;垂直高頻電四極透鏡相向設于漂移管之間,并固連于兩個垂直的第二電極板之間;水平高頻電四極透鏡相向設于漂移管之間,并固連于兩個水平的第二電極板之間。

5.如權利要求1所述的緊湊型高頻電聚焦混合加速腔,其特征在于所述的第一加速間隙與第二加速間隙的真空度為10-5-10-7Pa。

6.如權利要求1所述的緊湊型高頻電聚焦混合加速腔,其特征在于所述的相鄰的漂移管支撐桿互為垂直設置。

7.如權利要求1所述的緊湊型高頻電聚焦混合加速腔,其特征在于所述的垂直高頻電四極透鏡端面為平直段,橫截面為雙曲線型,相對的第二電極板的距離為5-40mm。

8.如權利要求1所述的緊湊型高頻電聚焦混合加速腔,其特征在于所述的漂移管的長度為5-100mm;內徑為5-50mm,相鄰兩個漂移管之間的加速間隙距離為5-50mm。

9.如權利要求1所述的緊湊型高頻電聚焦混合加速腔,其特征在于所述的高頻電四極透鏡與相鄰的漂移管之間的距離為5-50mm。

10.如權利要求1所述的緊湊型高頻電聚焦混合加速腔,其特征在于所述的腔筒、電極板、漂移管和高頻電四極透鏡的材料為金屬銅或者不銹鋼鍍銅。

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