[發(fā)明專利]在金屬栓塞的化學(xué)機(jī)械研磨中的制程動(dòng)態(tài)優(yōu)化方法及系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710964428.1
• 申請(qǐng)日: 2017-10-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109664162B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-02-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B24B1/00
• 分類號(hào): B24B1/00;B24B37/005
• 代理公司: 31219 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 余明偉

1.一種在金屬栓塞的化學(xué)機(jī)械研磨中的制程動(dòng)態(tài)優(yōu)化方法，其特征在于，金屬栓塞形成于目標(biāo)材料層中，所述目標(biāo)材料層具有需要去除的目標(biāo)去除厚度，所述制程動(dòng)態(tài)優(yōu)化方法包括如下步驟：

1)設(shè)定所述目標(biāo)去除厚度與研磨參數(shù)在閉回路控制系統(tǒng)中，所述研磨參數(shù)包括研磨時(shí)間及研磨壓力；

2)利用所述研磨參數(shù)，執(zhí)行第一化學(xué)機(jī)械研磨步驟，以降低所述目標(biāo)材料層的厚度達(dá)到在第一實(shí)際去除厚度的去除；

3)測(cè)量所述第一化學(xué)機(jī)械研磨步驟中所述目標(biāo)材料層被去除的所述第一實(shí)際去除厚度；

4)依據(jù)所述目標(biāo)去除厚度和所述第一實(shí)際去除厚度的差異，轉(zhuǎn)換厚度差異成對(duì)應(yīng)的研磨參數(shù)差值，以動(dòng)態(tài)更新研磨參數(shù)；包括如下步驟：

4-1)設(shè)定初始研磨時(shí)間、最佳研磨速率、初始研磨壓力及最佳研磨壓力速率；

4-2)依據(jù)所述目標(biāo)去除厚度和上一研磨步驟中實(shí)際去除厚度的差異、所述初始研磨時(shí)間及所述最佳研磨速率得到實(shí)際研磨時(shí)間；并依據(jù)所述目標(biāo)去除厚度和上一研磨步驟中實(shí)際去除厚度的差異、所述初始研磨壓力及所述最佳研磨壓力速率得到實(shí)際研磨壓力；以及，

5)利用更新后的研磨參數(shù)，執(zhí)行第二化學(xué)機(jī)械研磨步驟，以降低所述目標(biāo)材料層的厚度達(dá)到在第二實(shí)際去除厚度的去除，藉此動(dòng)態(tài)優(yōu)化研磨參數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在金屬栓塞的化學(xué)機(jī)械研磨中的制程動(dòng)態(tài)優(yōu)化方法，其特征在于，步驟5)之后還包括如下步驟：

6)依據(jù)所述目標(biāo)去除厚度和上一研磨步驟中實(shí)際去除厚度的差異，轉(zhuǎn)換厚度差異成對(duì)應(yīng)的研磨參數(shù)差值，以動(dòng)態(tài)更新研磨參數(shù)；以及，

7)利用更新后的研磨參數(shù)，執(zhí)行再一化學(xué)機(jī)械研磨步驟，以降低所述目標(biāo)材料層的厚度達(dá)到在所需實(shí)際去除厚度的去除，藉此動(dòng)態(tài)優(yōu)化研磨參數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在金屬栓塞的化學(xué)機(jī)械研磨中的制程動(dòng)態(tài)優(yōu)化方法，其特征在于，步驟7)之后，還包括重復(fù)步驟6)至步驟7)至少一次的步驟。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在金屬栓塞的化學(xué)機(jī)械研磨中的制程動(dòng)態(tài)優(yōu)化方法，其特征在于，所述實(shí)際研磨時(shí)間與所述目標(biāo)去除厚度和上一研磨步驟中實(shí)際去除厚度的差異、所述初始研磨時(shí)間及所述最佳研磨速率的關(guān)系式為：T＝t₀+(d-△d)/δ₁，其中，T為實(shí)際研磨時(shí)間，t₀為初始研磨時(shí)間，d為目標(biāo)去除厚度，△d為上一研磨步驟中實(shí)際去除厚度，δ₁為最佳研磨速率；所述實(shí)際研磨壓力與所述目標(biāo)去除厚度和上一研磨步驟中實(shí)際去除厚度的差異、所述初始研磨壓力及所述最佳研磨壓力速率的關(guān)系式為：N＝n₀+(d-△d)/δ₂，其中，n₀為初始研磨壓力，d為目標(biāo)去除厚度，△d為上一研磨步驟中實(shí)際去除厚度，δ₂為最佳研磨壓力速率。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在金屬栓塞的化學(xué)機(jī)械研磨中的制程動(dòng)態(tài)優(yōu)化方法，其特征在于，步驟4-1)中，依據(jù)使用研磨耗材第一次對(duì)所述目標(biāo)材料層進(jìn)行研磨的過(guò)程中去除目標(biāo)厚度的所述目標(biāo)材料層所需的研磨時(shí)間設(shè)定所述初始研磨時(shí)間；依據(jù)研磨步驟中實(shí)際去除的所述目標(biāo)材料層的厚度與所述初始研磨時(shí)間的比值設(shè)定所述最佳研磨速率；依據(jù)使用研磨耗材第一次對(duì)所述目標(biāo)材料層進(jìn)行研磨的過(guò)程中去除目標(biāo)厚度的所述目標(biāo)材料層所需的研磨壓力設(shè)定所述初始研磨壓力；依據(jù)在大于所述初始研磨壓力的條件下，在所述初始研磨時(shí)間內(nèi)去除的所述目標(biāo)材料層的厚度與實(shí)際研磨壓力和所述初始研磨壓力之差的比值設(shè)定所述最佳研磨壓力速率。