[發(fā)明專利]一體式封裝分切機(jī)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710964135.3 | 申請日: | 2017-10-17 |
| 公開(公告)號: | CN107611067A | 公開(公告)日: | 2018-01-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 朱建平 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳華創(chuàng)兆業(yè)科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/78 |
| 代理公司: | 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11371 | 代理人: | 史明罡 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 體式 封裝 分切機(jī) | ||
1.一種一體式封裝分切機(jī),其特征在于,包括:
基板輸送裝置,所述基板輸送裝置用于將基板依次輸送至填埋工位、焊接工位與分切工位,所述基板上設(shè)有復(fù)數(shù)個陣列分布的卡基;
芯片填埋裝置,所述芯片填埋裝置設(shè)于所述填埋工位,用于將切割分離后的芯片分別填埋到對應(yīng)的所述卡基的填埋槽內(nèi);
焊接封裝裝置,所述焊接封裝裝置設(shè)于所述焊接工位,用于使所述芯片的粘接面的熱熔膠融化,將所述芯片與對應(yīng)的所述卡基封裝而成智能卡;
卡片分切裝置,所述卡片分切裝置設(shè)于所述分切工位,用于實(shí)現(xiàn)所述智能卡與所述基板的分離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體式封裝分切機(jī),其特征在于,所述基板輸送裝置包括運(yùn)動部與設(shè)于所述運(yùn)動部上的復(fù)數(shù)個基板卡具,所述基板卡具用于一一對應(yīng)地裝夾所述基板,復(fù)數(shù)個所述基板卡具隨所述運(yùn)動部運(yùn)動經(jīng)過所述填埋工位、所述焊接工位與所述分切工位。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體式封裝分切機(jī),其特征在于,所述芯片填埋裝置包括:
芯片輸送機(jī)構(gòu),所述芯片輸送機(jī)構(gòu)用于使芯片條帶依次經(jīng)過點(diǎn)膠工位,所述芯片條帶具有多個經(jīng)過切割的芯片;
點(diǎn)膠機(jī)構(gòu),所述點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)設(shè)于所述點(diǎn)膠工位,用于在所述芯片條帶的芯片粘接面點(diǎn)膠,所述芯片條帶的芯片粘接面用于與卡基粘接封裝;
轉(zhuǎn)換填埋機(jī)構(gòu),所述轉(zhuǎn)換填埋機(jī)構(gòu)用于取下所述芯片及將所述芯片填埋于所述卡基的填埋槽內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一體式封裝分切機(jī),其特征在于,所述轉(zhuǎn)換填埋機(jī)構(gòu)包括沿所述卡基的陣列方向分布的復(fù)數(shù)個填埋器,所述填埋器包括旋轉(zhuǎn)軸體與多個吸嘴,所述旋轉(zhuǎn)軸體設(shè)于所述芯片條帶的芯片粘接面的背面?zhèn)龋鑫煅厮鲂D(zhuǎn)軸體的旋轉(zhuǎn)圓周均勻分布于所述旋轉(zhuǎn)軸體的外表面,所述吸嘴與所述芯片條帶的芯片粘接面的背面?zhèn)认鄬υO(shè)置而用于取下所述芯片。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體式封裝分切機(jī),其特征在于,所述芯片填埋裝置還包括第一壓合機(jī)構(gòu),所述第一壓合機(jī)構(gòu)用于壓合經(jīng)填埋的所述芯片與所述卡基;和/或所述焊接封裝裝置還包括第二壓合機(jī)構(gòu),所述第二壓合機(jī)構(gòu)用于在所述熱熔膠融化后壓合所述芯片與所述卡基。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體式封裝分切機(jī),其特征在于,所述焊接封裝裝置包括至少一個第一激光器,所述第一激光器設(shè)于所述焊接工位,用于發(fā)射激光光束而使芯片粘接面的熱熔膠融化,所述芯片預(yù)埋于所述卡基的填埋槽內(nèi),所述芯片的粘接面與所述填埋槽的表面保持相對。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一體式封裝分切機(jī),其特征在于,所述焊接封裝裝置還包括第一視覺檢測單元與控制單元,所述第一視覺檢測單元設(shè)于所述焊接工位,用于檢測所述基板的運(yùn)動速度參數(shù)與位置參數(shù),所述控制單元根據(jù)所述運(yùn)動速度參數(shù)調(diào)節(jié)所述第一激光器的出光速度以及根據(jù)所述位置參數(shù)對所述第一激光器的出光路徑進(jìn)行位置補(bǔ)償。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體式封裝分切機(jī),其特征在于,所述卡片分切裝置包括至少一個第二激光器,所述第二激光器用于對所述基板進(jìn)行卡片切割,所述第二激光器的出光方向與所述基板表面垂直。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一體式封裝分切機(jī),其特征在于,所述卡片分切裝置還包括第二視覺檢測單元與控制單元,所述第二視覺檢測單元設(shè)于所述分切工位,用于檢測所述基板的運(yùn)動速度參數(shù)與位置參數(shù),所述控制單元根據(jù)所述運(yùn)動速度參數(shù)調(diào)節(jié)所述第二激光器的出光速度以及根據(jù)所述位置參數(shù)對所述第二激光器的出光路徑進(jìn)行位置補(bǔ)償。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體式封裝分切機(jī),其特征在于,復(fù)數(shù)個所述卡基于所述基板上至少沿第一方向分布,所述第一方向與所述基板的運(yùn)動方向互不平行。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





