[發明專利]一種硬質合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系復合膜在審
| 申請號： | 201710963992.1 | 申請日： | 2017-10-16 |
| 公開（公告）號： | CN109666891A | 公開（公告）日： | 2019-04-23 |
| 發明（設計）人： | 馬曉偉 | 申請（專利權）人： | 馬曉偉 |
| 主分類號： | C23C14/06 | 分類號： | C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 110000 遼寧省*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硬質合金 復合膜 硬質合金表面 材料表面性能 材料表面硬度 抗高溫氧化性 制備高性能 耐磨性 熱處理 表面化學 改善材料 合金部件 耐磨性能 重要手段 合金靶 耐磨 單質 抗彎 耐蝕 制備 生產工藝 磨損 應用 | ||
1.一種硬質合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系復合膜的制備原料包括：Ti63-Al32-Zr5(at%)合金靶和1個Cr單質靶，WC-8Co硬質合金。
2.根據權利要求1所述的硬質合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系復合膜，其特征是硬質合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系復合膜的制備步驟為：將原料按實驗設計方案稱重、配料，配好后進行打磨、拋光，然后進行超聲波清洗，將加工過的試樣進行真空干燥，干燥時間為40min，干燥溫度為50℃，然后加入真空爐中制備梯度膜，沉積偏壓仍為–150V，沉積時間為30min。
3.根據權利要求1所述的硬質合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系復合膜，其特征是硬質合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系復合膜的檢測步驟為：質量采用FA2104電子天平測定，微觀形貌采用JOEL7001F場發射掃描電鏡觀察，抗彎強度測試采用INS186電子萬能試驗機，物相結構采用XPert衍射儀分析，抗壓強度采用CDT305壓機。
4.根據權利要求1所述的硬質合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系復合膜，其特征是所述的硬質合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系復合膜，其在900℃時具有良好的抗高溫氧化性；而(Ti,Al,Zr,Cr)N單層膜的抗高溫氧化溫度僅為600℃，所述的硬質合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系復合膜，在長時間的高溫氧化環境中仍然能夠保持良好的抗高溫循環氧化性，其抗高溫氧化性能遠高于單層膜。
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