[發明專利]一種維持中頻等離子電源MOS管電壓均衡的驅動電路

在審

• 申請號: 201710963188.3
• 申請日: 2017-10-16
• 公開（公告）號: CN107528455A
• 公開（公告）日: 2017-12-29
• 發明（設計）人: 傅健;吳銳;馬勇;闞龍
• 申請（專利權）人: 科棣姆（上海）電源科技有限公司
• 主分類號: H02M1/08
• 分類號: H02M1/08
• 代理公司: 上海旭誠知識產權代理有限公司31220
• 代理人: 鄭立

1.一種維持中頻等離子電源MOS管電壓均衡的驅動電路，其特征在于，包括脈沖變換模塊、脈沖隔離變壓器驅動模塊；所述脈沖變換模塊包括電壓輸入單元、脈沖輸出單元；所述脈沖隔離變壓器驅動模塊包括控制電壓輸入單元、脈沖輸入單元、驅動電壓輸出單元；所述電壓輸入單元接收輸入電壓，所述輸入電壓經過所述脈沖變換模塊變換成脈沖信號，所述脈沖輸出單元與所述脈沖隔離變壓器驅動模塊的脈沖輸入單元相連，所述脈沖輸出單元輸出的脈沖信號作為所述脈沖輸入單元的輸入信號；所述控制電壓輸入單元接收控制電壓，所述控制電壓和所述脈沖輸入模塊接收的脈沖信號輸入所述脈沖隔離變壓器驅動模塊后，轉換成驅動電壓，由所述驅動電壓輸出單元輸出。

2.如權利要求1所述的維持中頻等離子電源MOS管電壓均衡的驅動電路，其特征在于，所述脈沖信號為導通脈沖或關斷脈沖。

3.如權利要求1所述的維持中頻等離子電源MOS管電壓均衡的驅動電路，其特征在于，所述脈沖變換模塊的電壓輸入單元輸入的電壓為矩形波電壓。

4.如權利要求1所述的維持中頻等離子電源MOS管電壓均衡的驅動電路，其特征在于，所述脈沖變換模塊的脈沖輸出單元有兩個，輸出的脈沖分別對應于所述矩形波電壓的上升沿和下降沿。

5.如權利要求4所述的維持中頻等離子電源MOS管電壓均衡的驅動電路，其特征在于，所述脈沖信號為導通脈沖或關斷脈沖，對應于矩形波電壓的上升沿輸出的脈沖為導通脈沖，對應于矩形波電壓的下降沿輸出的脈沖為關斷脈沖。

6.如權利要求1所述的維持中頻等離子電源MOS管電壓均衡的驅動電路，其特征在于，所述控制電壓為導通控制電壓或關斷控制電壓。

7.如權利要求1所述的維持中頻等離子電源MOS管電壓均衡的驅動電路，其特征在于，所述驅動電壓為導通電壓或關斷電壓。

8.如權利要求1所述的維持中頻等離子電源MOS管電壓均衡的驅動電路，其特征在于，所述脈沖隔離變壓器驅動模塊有兩個，分別為脈沖隔離變壓器驅動模塊1和脈沖隔離變壓器驅動模塊2，所述脈沖隔離變壓器驅動模塊1的脈沖輸入單元接收所述導通脈沖，所述脈沖隔離變壓器驅動模塊1的控制電壓輸入單元接收所述導通控制電壓，所述脈沖隔離變壓器驅動模塊1的驅動電壓輸出單元輸出導通電壓；所述脈沖隔離變壓器驅動模塊2的脈沖輸入單元接收所述關斷脈沖，所述脈沖隔離變壓器驅動模塊2的控制電壓輸入單元接收所述關斷控制電壓，所述脈沖隔離變壓器驅動模塊1的驅動電壓輸出單元輸出所述關斷電壓。

9.如權利要求1所述的維持中頻等離子電源MOS管電壓均衡的驅動電路，其特征在于，所述脈沖變換模塊還包括反向施密特觸發器、與非施密特觸發器。

10.如權利要求1所述的維持中頻等離子電源MOS管電壓均衡的驅動電路，其特征在于，所述脈沖隔離變壓器驅動模塊還包括反向施密特觸發器、信號放大單元。