[發明專利]芯片級旋轉調制式MEMS硅微機械陀螺

有效

• 申請號: 201710961356.5
• 申請日: 2017-10-17
• 公開（公告）號: CN107796383B
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 苑偉政;申強;楊瑾;周金秋;謝建兵;常洪龍
• 申請（專利權）人: 西北工業大學;西北工業大學深圳研究院
• 主分類號: G01C19/5656
• 分類號: G01C19/5656
• 代理公司: 西北工業大學專利中心 61204
• 代理人: 呂湘連

1.芯片級旋轉調制式硅微機械陀螺,其特征在于，由用于支撐旋轉平臺并維持其轉動的底座以及SOI硅片構成；

所述底座由玻璃片1以及濺射在玻璃片上表面的第一金屬電極2、第二金屬電極3組成，第一金屬電極2與第二金屬電極3對稱分布在玻璃片上表面，兩者厚度相等；

所述SOI硅片的器件層形成微機械陀螺4，導線組5以及驅動電極6、驅動檢測電極7、第一敏感檢測電極8、第二敏感檢測電極9，其中導線組5共包含多根導線，每根導線與驅動電極6、驅動檢測電極7、第一敏感檢測電極8、第二敏感檢測電極9對應相連，具體地：驅動電極6、驅動檢測電極7通過導線組5實現微機械陀螺4的驅動模態振動激勵、檢測，第一敏感檢測電極8、第二敏感檢測電極9通過導線組5實現微機械陀螺4敏感模態振動檢測；SOI硅片的基底層形成旋轉調制平臺，旋轉調制平臺包括旋轉平板11、扭轉梁12，旋轉平板電極13，其中，旋轉調制平臺的下表面與第一金屬電極2、第二金屬電極3分別形成平行板電容器，旋轉平板11用于支撐微機械陀螺4，旋轉平板11沿著扭轉梁12軸對稱且其質心與形心重合，同時，扭轉梁12的軸向與微機械陀螺4的角速度敏感軸垂直，扭轉梁12的軸向扭轉頻率大于微機械陀螺4驅動模態諧振頻率2倍以上，旋轉平板電極13下表面與玻璃片1上表面通過鍵合工藝形成整體，旋轉平板電極13下表面距離旋轉平板11下表面的高度差小于200微米。

2.如權利要求1所述的芯片級旋轉調制式硅微機械陀螺,其特征在于，所述的第一金屬電極2、第二金屬電極3材料為金。