[發明專利]快速響應薄膜壓力傳感器及其制造方法

在審

• 申請號: 201710961317.5
• 申請日: 2017-10-17
• 公開（公告）號: CN107543644A
• 公開（公告）日: 2018-01-05
• 發明（設計）人: 雷念程
• 申請（專利權）人: 雷念程
• 主分類號: G01L7/02
• 分類號: G01L7/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種快速響應薄膜壓力傳感器，包括敏感芯體(1)、基座(2)、套在所述基座(2)上方的外殼(3)組成，其特征在于：所述基座(2)下端外部開有與被測介質管道機械咬合的下螺紋(10)，下端內部開有與所述敏感芯體(1)吻合的基座凸臺(12)，上端外部開有與所述外殼(3)吻合的上螺紋(9)，中部外側設計有六角頭(19)；所述六角頭(19)上方內側設計有安裝密封圈(17)的密封槽(16)；所述外殼(3)下端內側設計有與所述基座(2)的上螺紋(9)吻合的內螺紋(8)，所述外殼(3)上端中心位置開有過線通孔(20)，所述外殼(3)頂部通過咬合螺紋(15)安裝有鎖緊塞(14)。

2.如權利要求1所述的快速響應薄膜壓力傳感器，其特征在于：所述敏感芯體(1)上部外周設計有芯體凸臺(13)，所述芯體凸臺(13)上安裝有支撐電路板(7)的電路支架(6)；所述敏感芯體(1)的輸入輸出信號通過內引線(4)焊接在所述電路板(7)的焊盤上，然后通過外引線(5)穿過所述過線通孔(20)向外引出；當壓力作用于所述敏感芯體(1)時，所述敏感芯體(1)受力部位發生形變，輸出與所受壓力成比例的電信號。

3.如權利要求1至2任一項所述的快速響應薄膜壓力傳感器，其特征在于：所述敏感芯體(1)是采用濺射薄膜技術制造的壓力敏感元件。

4.如權利要求1至3任一項所述的快速響應薄膜壓力傳感器，其特征在于：所述敏感芯體(1)開口部位(18)加工成喇叭型。

5.如權利要求1所述的快速響應薄膜壓力傳感器，其特征在于：所述外殼(3)與所述基座(2)通過螺紋咬合擰緊正好壓實所述密封圈(17)形成一個密封的整體。

6.一種快速響應薄膜壓力傳感器制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1.使用金屬棒材，采用機械加工方法，加工出下端帶有基座凸臺(12)、下螺紋(10)，上端帶有上螺紋(9)，中部外側加工有六角頭(19)，所述六角頭(19)上方內側加工有安裝密封圈(17)的密封槽(16)的基座(2)；

S2.采用機械加工的方法，加工出上部中心位置開有過線通孔(20)、咬合螺紋(15)，下部加工有內螺紋(8)的外殼(3)；

S3.利用離子束濺射薄膜技術和壓力傳感器芯體加工技術，加工敏感芯體(1)；

S4.將加工好的所述電路板(7)安裝在所述電路支架(6)上；

S5.將所述電路支架(6)焊接在所述敏感芯體(1)上方的芯體凸臺(13)位置；

S6.通過金絲球焊的方法，將所述敏感芯體(1)的焊盤與所述電路板(7)的焊盤利用金絲連接；

S7.將所述外引線(5)焊接在所述電路板(7)的焊盤上；

S8.將所述敏感芯體(1)的芯體凸臺(13)及所述敏感芯體(1)外圓周均勻涂敷強力膠(11)，然后嵌入所述基座凸臺(12)，二者壓實老化形成一個堅固的密封整體；

S9.將外引線(5)穿過外殼(3)的過線通孔(20)。

S10.將所述外殼(3)與基座(2)通過內螺紋(8)和上螺紋(9)吻合擰緊并壓實密封圈(17)；

S11.將鎖緊塞(14)通過咬合螺紋(15)擰緊，鎖緊外引線(5)，得到快速響應薄膜壓力傳感器。