[發明專利]一種應用于末端可翻轉晶圓機器人的末端氣路密封裝置

有效

• 申請號: 201710954460.1
• 申請日: 2017-10-13
• 公開（公告）號: CN107511847B
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發明（設計）人: 劉志峰;栗鳳洋;許博;楊聰彬;程江麗;戚澤華
• 申請（專利權）人: 北京工業大學;北華航天工業學院
• 主分類號: B25J18/00
• 分類號: B25J18/00;B25J11/00;B25J17/00;F16J15/10
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203
• 代理人: 沈波

1.一種應用于末端可翻轉晶圓機器人的末端氣路密封裝置，其特征在于：該裝置包括定管(121)、壓緊螺母(122)、橡膠密封圈(123)、小密封圈(124)、動管(125)、濾網(126)、末端連接法蘭(127)和小橡膠圈(128)；

定管(121)的一端端部為階梯狀，兩個小密封圈(124)沿徑向方向并列套設在定管(121)的階梯狀處；橡膠密封圈(123)沿圓周方向套設在定管(121)的階梯狀處，壓緊螺母(122)與定管(121)通過螺紋相配合，壓緊螺母(122)用以固定橡膠密封圈(123)；然后將定管(121)連接到動管(125)的一端；末端連接法蘭(127)用以將濾網(126)和小橡膠圈(128)壓好并固定在動管(125)的另一端；

前端氣路與動力氣缸相接，定管(121)與前端氣路連接后一起固定在晶圓搬運機器人末端(1)上，末端連接法蘭(127)與晶圓搬運機器人末端抓手(2)連接；

橡膠密封圈(123)除承擔密封功能外，工作狀態時還與動管(125)進行摩擦。

2.根據權利要求1所述的一種應用于末端可翻轉晶圓機器人的末端氣路密封裝置，其特征在于：動管(125)的橡膠材料選用HNBR氫化丁腈橡膠。

3.根據權利要求1所述的一種應用于末端可翻轉晶圓機器人的末端氣路密封裝置，其特征在于：小密封圈(124)和小橡膠圈(128)選用NBR丁腈橡膠密封圈。