[發明專利]鈮酸鋰薄膜納米級周期性極化的方法

在審

• 申請號: 201710953193.6
• 申請日: 2017-10-13
• 公開（公告）號: CN107561817A
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 丁婷婷;鄭遠林;陳險峰
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: G02F1/355
• 分類號: G02F1/355;G03F7/00
• 代理公司: 上海交達專利事務所31201
• 代理人: 王毓理,王錫麟

1.一種鈮酸鋰薄膜納米級周期性極化的方法，其特征在于，首先在鈮酸鋰單晶薄膜樣品表面甩膠后模壓得到納米梳狀結構，然后在納米梳狀結構上鍍制金屬膜層作為頂電極，再通過鈮酸鋰單晶薄膜樣品中的導電電極層和頂電極進行極化處理，最后通過去除甩膠和導電電極層，得到周期性極化鈮酸鋰薄膜；

所述的鈮酸鋰單晶薄膜樣品包括鈮酸鋰襯底以及依次設置于其上的二氧化硅層、導電電極層和鈮酸鋰單晶薄膜層。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征是，所述的導電電極層為金或鉑金。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征是，所述的甩膠，具體為在鈮酸鋰單晶薄膜樣品上旋涂一層PMMA溶液。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征是，所述的模壓是指，在甩膠固化前，將納米尺度電極的模具壓在上面，并在低壓環境下施加壓力，使得甩膠填充模具中的空腔；壓模過程結束后固化形成具有與模具重合的圖形并移去模具。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征是，所述的模具，其圖案為納米梳狀結構。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征是，所述的鍍制，采用蒸鍍或磁控濺射，其中：鍍制的金屬膜的厚度大于壓印納米梳狀結構中的刻槽的深度，從而得到大面積梳齒規則的納米電極。

7.根據權利要求1所述的方法，其特征是，所述的極化處理是指，在鈮酸鋰單晶薄膜樣品的鈮酸鋰襯底上設置接地電極，在頂電極與接地電極之間施加極化電脈沖信號，該極化電脈沖信號所產生的極化電場方向與鈮酸鋰疇的自發極化相反。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征是，當所述鈮酸鋰單晶薄膜樣品的厚度為300-700nm時，極化電壓為6.3-14.7V。

9.一種納米級周期性極化結構，其特征在于，通過上述任一權利要求所述方法制備得到。