[發(fā)明專利]用于高真空室和高氣壓室轉(zhuǎn)接的高電壓電極法蘭

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710949945.1
• 申請(qǐng)日: 2017-10-13
• 公開（公告）號(hào): CN107580405A
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫玄;霍昆;王彥鵬;林木楠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)
• 主分類號(hào): H05H7/14
• 分類號(hào): H05H7/14
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司11251
• 代理人: 楊學(xué)明,鄧治平

1.用于高真空室和高氣壓室轉(zhuǎn)接的高電壓電極法蘭，其特征在于：包括不銹鋼法蘭筒(7)、灌封環(huán)氧樹脂絕緣體(5)、絕緣陶瓷體(1)和無氧銅電極(4)，所述的不銹鋼法蘭筒(7)一個(gè)端面的高氣壓端法蘭螺絲孔(2)，用于與高氣壓室進(jìn)行密封連接，另一個(gè)端面的高真空端法蘭螺絲孔(3)，用于與高真空室進(jìn)行密封連接，灌封環(huán)氧樹脂絕緣體(5)連接絕緣陶瓷體(1)和不銹鋼法蘭筒(7)的內(nèi)部界面，其中灌封環(huán)氧樹脂絕緣體(5)的灌封深度是不銹鋼法蘭筒(7)內(nèi)部深度的0.5～0.9倍，所述的絕緣陶瓷體(1)與不銹鋼法蘭筒(7)高真空端法蘭面的通孔密封連接，絕緣陶瓷體(1)的外圓柱面直徑是不銹鋼法蘭筒(7)內(nèi)部中空?qǐng)A柱筒面直徑的0.5～0.6倍，所述的無氧銅電極(4)密封連接于絕緣陶瓷體(1)內(nèi)部，并且無氧銅電極(4)為圓柱體，所述的不銹鋼法蘭筒(7)、灌封環(huán)氧樹脂絕緣體(5)、絕緣陶瓷體(1)和無氧銅電極(4)構(gòu)成同軸對(duì)稱結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高真空室和高氣壓室轉(zhuǎn)接的高電壓電極法蘭，其特征在于：不銹鋼法蘭筒(7)兩個(gè)端面的法蘭連接面有刀口，可以降低高真空室和高氣壓室的泄露率。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高真空室和高氣壓室轉(zhuǎn)接的高電壓電極法蘭，其特征在于：絕緣陶瓷體(1)的兩端均加工有第一防爬電環(huán)(101)和第二防爬電環(huán)(102)，并且第一防爬電環(huán)(101)厚度大于第二防爬電環(huán)(102)厚度；

所述的絕緣陶瓷體(1)的長度大于密封連接在其內(nèi)部的無氧銅電極(4)的長度，并且無氧銅電極(4)的任意一端都距離最近的絕緣陶瓷體(1)端口5cm以上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高真空室和高氣壓室轉(zhuǎn)接的高電壓電極法蘭，其特征在于：無氧銅電極(4)的兩端分別有一個(gè)香蕉插口，無氧銅電極(4)不是中空結(jié)構(gòu)；

所述的無氧銅電極(4)的一端與絕緣陶瓷體(1)接觸高氣壓室的一端密封連接，無氧銅電極(4)的另一端懸浮于絕緣陶瓷體(1)的內(nèi)部；

所述的無氧銅電極(4)的高氣壓端電極接口(402)用于從高氣壓室中饋入20～130KV的直流高壓，而無氧銅電極(4)的高真空端電極接口(401)作為加速器電極的引入電壓接口。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高真空室和高氣壓室轉(zhuǎn)接的高電壓電極法蘭，其特征在于：不銹鋼法蘭筒(7)的高氣壓端法蘭連接的高氣壓室中充滿的氣體介質(zhì)可以是如下三種氣體中任一或者其任意混合：純凈空氣、N₂、SF₆，高氣壓室壓強(qiáng)值范圍為0.2～0.4MPa。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高真空室和高氣壓室轉(zhuǎn)接的高電壓電極法蘭，其特征在于：不銹鋼法蘭筒(7)的高真空端法蘭連接的高真空室的真空度范圍為：10^-2～10^-5Pa。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高真空室和高氣壓室轉(zhuǎn)接的高電壓電極法蘭，其特征在于：不銹鋼法蘭筒(7)與絕緣陶瓷體(1)的密封連接處涂抹有聚四氟乙烯膠(PTFE)(6)，用于增強(qiáng)密封性。