[發明專利]衍射光學元件監測控制裝置及方法

在審

• 申請號: 201710943619.X
• 申請日: 2017-10-11
• 公開（公告）號: CN107870273A
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 黃杰凡;鄧想全
• 申請（專利權）人: 深圳奧比中光科技有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 深圳新創友知識產權代理有限公司44223
• 代理人: 江耀純

1.一種衍射光學元件監測控制裝置，其特征在于，包括：

衍射光學元件(DOE)，由至少一片透明基片刻蝕而成，用于衍射入射光源發出的光束；

透明導電薄膜，附于所述衍射光學元件的表面，具有電阻屬性；

監測控制單元，與所述透明導電薄膜電連接，用于監測所述透明導電薄膜兩端的電壓信號/電流信號/電阻信號，以判斷所述衍射光學元件的完整性并進行相應的安全控制。

2.如權利要求1所述的衍射光學元件監測控制裝置，其特征在于，所述監測控制單元中預設了安全閾值區間，當所述透明導電薄膜兩端的電壓信號/電流信號/電阻信號超過所述安全閾值區間時，所述監測控制單元進行相應的安全控制。

3.如權利要求2所述的衍射光學元件監測控制裝置，其特征在于，所述安全控制包括發出所述衍射光學元件損壞的風險提示信息或關閉所述入射光源或者降低所述入射光源的發光功率。

4.如權利要求2或3所述的衍射光學元件監測控制裝置，其特征在于，所述監測控制單元包括：

恒定電流源，向所述透明導電薄膜提供恒定電流；

電壓計，實時獲取所述透明導電薄膜兩端的電壓信號并反饋給處理器；

所述處理器通過比較算法，判斷所述透明導電薄膜兩端的電壓信號是否超出所述安全閾值區間。

5.如權利要求4所述的衍射光學元件監測控制裝置，其特征在于，如果所述透明導電薄膜兩端的電壓信號在所述安全閾值區間內，則所述電壓計繼續實時獲取所述透明導電薄膜兩端的電壓信號并反饋給處理器；如果所述透明導電薄膜兩端的電壓信號超出所述安全閾值區間，則所述處理器進行相應的安全控制。

6.如權利要求2或3所述的衍射光學元件監測控制裝置，其特征在于，所述監測控制單元包括：

恒定電壓源，向所述透明導電薄膜提供恒定電壓；

電流計，實時獲取所述透明導電薄膜兩端的電流信號并反饋給處理器；

所述處理器通過比較算法，判斷所述透明導電薄膜兩端的電流信號是否超出所述安全閾值區間。

7.如權利要求6所述的衍射光學元件監測控制裝置，其特征在于，如果所述透明導電薄膜兩端的電流信號在所述安全閾值區間內，則所述電流計繼續實時獲取所述透明導電薄膜兩端的電流信號并反饋給處理器；如果所述透明導電薄膜兩端的電流信號超出所述安全閾值區間，則所述處理器進行相應的安全控制。

8.如權利要求2或3所述的衍射光學元件監測控制裝置，其特征在于，所述監測控制單元包括：

電阻測量儀，實時獲取所述透明導電薄膜兩端的電阻信號并反饋給處理器；

所述處理器通過比較算法，判斷所述透明導電薄膜兩端的電阻信號是否超出所述安全閾值區間。

9.如權利要求8所述的衍射光學元件監測控制裝置，其特征在于，如果所述透明導電薄膜兩端的電阻信號在預設的安全閾值區間內，則所述電阻測量儀繼續實時獲取所述透明導電薄膜兩端的電阻信號并反饋給處理器；如果所述透明導電薄膜兩端的電阻信號超出了預設的安全閾值區間，則所述處理器進行相應的安全控制。

10.一種衍射光學元件監測控制方法，其特征在于，包括以下步驟：

在衍射光學元件(DOE)的表面鍍上具有電阻屬性的透明導電薄膜，所述衍射光學元件由至少一片透明基片刻蝕而成，并且所述透明基片的上表面和/或下表面刻有衍射光柵，用于衍射入射光源發出的光束；

通過監測控制單元實時監測所述透明導電薄膜兩端的電壓信號/電流信號/電阻信號，來判斷所述衍射光學元件的完整性并進行相應的安全控制。