[發明專利]一種石墨爐電熱蒸發進樣裝置離子源及其等離子體質譜儀

在審

• 申請號: 201710939274.0
• 申請日: 2017-09-30
• 公開（公告）號: CN107591310A
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發明（設計）人: 田禾;宋雅東;樊后鴻
• 申請（專利權）人: 北京普析通用儀器有限責任公司
• 主分類號: H01J49/04
• 分類號: H01J49/04
• 代理公司: 北京市東方至睿知識產權代理事務所(特殊普通合伙)11485
• 代理人: 霍金虎

1.一種石墨爐電熱蒸發進樣裝置離子源，包括：氣缸組(11)、下水冷電極組(13)、下石墨錐組(14)、上石墨錐組(15)、石墨管(16)、上水冷電極組(17)、轉接彎頭組(18)、支撐架組(19)、炬管組(20)、負載線圈(21)、緊固螺釘(24)、炬管組密封圈(25)、中心管密封圈(26)和中心管(27)，其特征在于，所述氣缸組(11)設置在支撐架組(19)的一側，下水冷電極組(13)固定在氣缸組(11)的氣缸組活塞桿(111)的上端，下水冷電極組(13)的上端設有下石墨錐組(14)，石墨管(16)設置在下石墨錐組(14)內，上水冷電極組(17)由緊固螺釘(24)固定在支撐架組(19)上部的一側，上石墨錐組(15)安裝在上水冷電極組(17)內的下側，轉接彎頭組(18)的一端與上水冷電極組(17)內的上石墨錐組(15)相連通，轉接彎頭組(18)的另一端與炬管組(20)相連通，炬管組(20)的前端外部設有上負載線圈(21)，炬管組(20)上設有炬管組等離子氣入口(201)，轉接彎頭組(18)的另一端連接有中心管(27)，中心管(27)和轉接彎頭組(18)之間設有中心管密封圈(26)，炬管組(20)和轉接彎頭組(18)之間設有炬管組密封圈(25)，炬管組(20)上設有炬管組輔助氣入口(202)，真空接口裝置(3)設置在炬管組(20)的前部，真空接口裝置(3)內設有真空接口裝置的采樣錐入口(301)。

2.根據權利要求1所述的石墨爐電熱蒸發進樣裝置離子源，其特征在于，還包括屏蔽罩(12)，屏蔽罩(12)設置在炬管組(20)的外部。

3.根據權利要求2所述的石墨爐電熱蒸發進樣裝置離子源，其特征在于，所述石墨管(16)內設有平臺(40)。

4.根據權利要求3所述的石墨爐電熱蒸發進樣裝置離子源，其特征在于，所述石墨管(16)內的平臺(40)由表面熱解石墨或全熱解石墨材料制成；或者由鎢、鉭耐高溫、耐腐蝕金屬材料制成；或者由陶瓷、石英玻璃非金屬材料制成。

5.根據權利要求4所述的石墨爐電熱蒸發進樣裝置離子源，其特征在于，石墨管(16)的總長為10～100mm，內徑為2～12mm。

6.一種利用權利要求1、2、3、4或5所述石墨爐電熱蒸發進樣裝置離子源的電感耦合等離子體質譜儀，其特征在于，包括：石墨爐電熱蒸發進樣裝置離子源(1)、射頻發生器(2)、真空接口裝置(3)、質譜儀(4)和計算機系統(5)，所述的石墨爐電熱蒸發進樣裝置離子源(1)與射頻發生器(2)相互連接，射頻發生器(2)與真空接口裝置(3)相互連接，真空接口裝置(3)與質譜儀(4)相互連接，計算機系統(5)分別與石墨爐電熱蒸發進樣裝置離子源(1)、射頻發生器(2)、真空接口裝置(3)和質譜儀(4)相連接。

7.根據權利要求6所述的的電感耦合等離子體質譜儀，其特征在于，所述射頻發生器(2)的頻率是27.12MHz或40.68MHz。