[發明專利]基于顯微物鏡的波長調制式表面等離子體顯微裝置

在審

• 申請號: 201710938103.6
• 申請日: 2017-09-30
• 公開（公告）號: CN107703104A
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發明（設計）人: 張蓓;張承乾;劉雨;閆鵬
• 申請（專利權）人: 北京航空航天大學
• 主分類號: G01N21/552
• 分類號: G01N21/552;G01N21/01
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于顯微物鏡的波長調制式表面等離子體顯微裝置，包括表面等離子體激發系統、表面等離子體信號檢測系統和樣品的納米定位系統。

2.如權利要求1所述的一種基于顯微物鏡的波長調制式表面等離子體顯微裝置，其特征在于，所述表面等離子體激發系統包括寬波長照明光源、擴束裝置、入射角度調制系統、分光鏡、高數值孔徑顯微物鏡。

3.如權利要求2所述的寬波長照明光源，其光束具有寬光帶的光譜，所述光源的偏振態可以為線性偏振或者徑向偏振。

4.如權利要求書2所述的入射角度調制系統，可以采用物理光闌或者空間光調制器在后焦面上對入射光進行調制，使得入射光通過顯微物鏡后以單一角度入射到樣品表面。

5.如權利要求書2所述的高數值孔徑顯微物鏡可以采用油浸顯微物鏡或者固浸顯微物鏡，用于將光聚焦于樣品表面并激發表面等離子體。

6.如權利要求1所述的一種基于顯微物鏡的波長調制式表面等離子體顯微裝置，其特征在于，所述表面等離子體信號檢測系統包括成像透鏡組和光譜儀。

7.如權利要求6所述的表面等離子體信號檢測系統，成像透鏡組可以為奇數或者偶數個透鏡，分別進行焦面或后焦面的成像；當系統為徑向偏振模態時，光譜儀可以在焦點或后焦面對反射光進行采集；當為線性偏振模態時，光譜儀可在焦點進行采集，或者在后焦面的p偏振方向對反射光進行采集。

8.如權利要求1所述一種基于顯微物鏡的波長調制式表面等離子體顯微裝置，其特征在于，所述的納米定位系統將樣片調節到焦點位置。