[發明專利]一種倒裝共晶LED陣列的共晶效果評估方法有效
| 申請號: | 201710935969.1 | 申請日: | 2017-10-10 |
| 公開(公告)號: | CN109659243B | 公開(公告)日: | 2020-07-31 |
| 發明(設計)人: | 郭旺;張衛峰;黃集權;鄧種華;劉著光;黃秋鳳;陳劍 | 申請(專利權)人: | 中國科學院福建物質結構研究所 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京知元同創知識產權代理事務所(普通合伙) 11535 | 代理人: | 劉元霞;謝怡婷 |
| 地址: | 350002 *** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 倒裝 led 陣列 效果 評估 方法 | ||
1.一種倒裝共晶LED陣列的共晶效果評估方法,其特征在于,所述倒裝共晶LED陣列包括M×N個倒裝共晶LED,所述M×N個倒裝共晶LED中的M×N個芯片構成M行N列的陣列結構,其中,M≥1,N≥1,且M和N不同時為1;所述方法包括如下步驟:
額定功率下,測試倒裝共晶LED陣列中標準倒裝共晶LED中的芯片表面的溫度T標;同樣條件下,測試倒裝共晶LED陣列中待測倒裝共晶LED中的芯片表面的溫度TMN;其中,標準倒裝共晶LED中的芯片簡記為標準芯片,待測倒裝共晶LED中的芯片簡記為待測芯片;對比T標和TMN,判斷倒裝共晶LED陣列的共晶效果。
2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述標準芯片與待測芯片在同一倒裝共晶LED陣列中,或者在不同倒裝共晶LED陣列中。
3.根據權利要求2所述的方法,其特征在于,標準芯片所在的倒裝共晶LED陣列和待測芯片所在的倒裝共晶LED陣列采用相同的工藝制備得到。
4.根據權利要求3所述的方法,其特征在于,所述倒裝共晶LED陣列中的每個倒裝共晶LED采用相同的工藝制備得到。
5.根據權利要求1-4任一項所述的方法,其特征在于,通過下述方法確定標準芯片:將倒裝共晶LED陣列中每個倒裝共晶LED中的芯片進行X-ray探傷檢測或超聲波探傷檢測,選擇倒裝共晶LED中芯片和基板之間的共晶界面無氣泡的倒裝共晶LED作為標準倒裝共晶LED,該標準倒裝共晶LED中的芯片即標準芯片。
6.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述標準芯片和待測芯片的幾何尺寸相同,光電參數相同或相近。
7.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,在額定功率下測試倒裝共晶LED陣列中每個倒裝共晶LED中的芯片表面的溫度。
8.根據權利要求7所述的方法,其特征在于,采用紅外熱成像儀測試芯片表面的溫度。
9.根據權利要求8所述的方法,其特征在于,采用紅外熱成像儀測試芯片表面的測溫點的溫度。
10.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述陣列中每個倒裝共晶LED共用一塊基板。
11.根據權利要求10所述的方法,其特征在于,所述基板為MCPCB基板或陶瓷基板。
12.根據權利要求11所述的方法,其特征在于,所述陶瓷基板為陶瓷散熱基板。
13.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法包括以下步驟:
額定功率下,若倒裝共晶LED陣列中的倒裝共晶LED全亮,則點亮5-20s;
測試該倒裝共晶LED陣列中每個倒裝共晶LED中的芯片的表面溫度TMN,即待測芯片的表面溫度TMN,然后斷開電路;
對比每個待測芯片的表面溫度TMN和標準芯片的表面溫度T標的差值,如果|T標-TMN|≤10℃,則說明該待測芯片所在的倒裝共晶LED的共晶效果好;若|T標-TMN|>10℃,則說明該待測芯片所在的倒裝共晶LED的共晶效果差;
整體分析M×N個TMN之間的一致性,若95%以上的待測芯片均滿足|T標-TMN|≤10℃,則表明該倒裝共晶LED陣列的共晶效果符合要求,可以用于進一步的封裝處理。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





