[發明專利]一種薄片材料測厚用光譜共焦檢測設備及其檢測方法

在審

• 申請號: 201710935797.8
• 申請日: 2017-10-10
• 公開（公告）號: CN107643052A
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發明（設計）人: 鄭長文
• 申請（專利權）人: 東莞市嘉儀自動化設備科技有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01J3/28
• 代理公司: 廣東莞信律師事務所44332
• 代理人: 馮蓉

1.一種薄片材料測厚用光譜共焦檢測設備，其特征在于，包括設備外殼以及設于設備外殼內的光譜共焦檢測機構、工控主機、光譜測厚電箱和滾筒機構，所述的滾筒機構包括第一滾筒部分、第二滾筒部分以及設置于第一滾筒部分與第二滾筒部分上端中部的平行桿機構，所述第一滾筒部分與第二滾筒部分的兩端分別通過支座連接板、滾軸支座相連接，所述的光譜共焦檢測機構包括支撐座、光電開關、第一光譜控制器、第二光譜控制器、U型架、第一光譜共焦鏡頭、第二光譜共焦鏡頭以及與支撐座連接的絲桿驅動機構，所述第一光譜控制器、第二光譜控制器與U型架的一側連接，所述第一光譜共焦鏡頭、第二光譜共焦鏡頭通過鏡頭調節機構分別與所述U型架另一側的上端部、下端部呈同軸線連接，所述U型架的底部通過滑軌底板與所述絲桿驅動機構的滑動塊連接。

2.如權利要求1所述的一種薄片材料測厚用光譜共焦檢測設備，其特征在于，所述的第一滾筒部分和第二滾筒部分均包括第一滾筒、主動滾筒以及與第一滾筒、主動滾筒兩端連接的滾筒支座，第一滾筒為沿水平方向平行設置的兩個滾筒，且第一滾筒部分與第二滾筒部分對稱設置。

3.如權利要求1所述的一種薄片材料測厚用光譜共焦檢測設備，其特征在于，所述的第一滾筒的兩端部通過連接有旋轉手柄的滑塊與滾筒支座連接，主動滾筒的兩端部通過彈性軸支座與滾筒支座連接，彈性軸支座包括支座本體、設于支座本體內的壓簧、與壓簧內部連接浮動導柱以及與壓簧外部中間連接的浮動塊。

4.如權利要求1所述的一種薄片材料測厚用光譜共焦檢測設備，其特征在于，所述的平行桿機構包括兩個平行設置的滾軸、與滾軸連接的滾軸支座、設于滾軸支座上方的存檔片和擋光板，滾軸通過鎖緊螺母與滾軸支座連接，所述平行桿機構的端部設置于第一光譜共焦鏡頭與第二光譜共焦鏡頭之間。

5.如權利要求1所述的一種薄片材料測厚用光譜共焦檢測設備，其特征在于，所述的絲桿驅動機構包括絲桿、馬達以及與絲桿滑動連接的滑動塊。

6.如權利要求1所述的一種薄片材料測厚用光譜共焦檢測設備，其特征在于，所述的鏡頭調節機構包括升降滑塊板、Z軸滑塊、與升降滑塊板一側連接的XY軸座以及鏡頭固定座，升降滑塊板與U型架的一端連接。

7.如權利要求1所述的一種薄片材料測厚用光譜共焦檢測設備，其特征在于，所述的光譜共焦檢測機構的支撐座通過底部支撐腳與設備外殼內一側底部連接，所述滾筒機構的底部與設備外殼內另一側底部連接。

8.一種權利要求1-7之一所述的薄片材料測厚用光譜共焦檢測設備的檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：將第一光譜共焦鏡頭、第二光譜共焦鏡頭移動至擋光板，通過第一光譜共焦鏡頭將第一光譜控制器進行暗場鏡頭校正，第二光譜共焦鏡頭將第二光譜控制器進行暗場校正；

S2：將第一光譜共焦鏡頭、第二光譜共焦鏡頭移動至標準片，并記錄標準片厚度L，通過第一光譜共焦鏡頭采集數據傳回第一光譜控制器進行運算得到第一光譜共焦鏡頭與標準片相對距離值D1，通過第二光譜共焦鏡頭采集數據傳回第二光譜控制器進行運算得到第二光譜共焦鏡頭與標準片相對距離值D2；

S3：將要測試的薄片類介質引導從第一滾筒部分的第一滾筒下方為起始并從第一滾筒的兩個滾筒的中間穿過，之后第一極片從第二滾筒部分的第一滾筒的兩個滾筒中間穿過；

S4：來回移動第一光譜共焦鏡頭、第二光譜共焦鏡頭，實時通過第一光譜共焦鏡頭采集數據傳回第一光譜控制器進行運算得到第一光譜共焦鏡頭與標準片相對距離值S1，通過第二光譜共焦鏡頭采集數據傳回第二光譜控制器進行運算得到第二光譜共焦鏡頭與標準片相對距離值S2；

S5：計算，根據公式H_n＝(S1-D1)+(S2-D2)+L，其中n為正整數，計算出薄片類介質的厚度H_n。