[發明專利]Bi2FeMo1-xNixO6雙鈣鈦礦鐵電薄膜及其制備方法

有效

• 申請號: 201710931620.0
• 申請日: 2017-10-09
• 公開（公告）號: CN107768460B
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發明（設計）人: 李雍;崔霞霞;郝喜紅;孫寧寧;杜金花;李曉偉;張奇偉
• 申請（專利權）人: 內蒙古科技大學
• 主分類號: H01L31/032
• 分類號: H01L31/032;H01L31/18
• 代理公司: 北京酷愛智慧知識產權代理有限公司 11514
• 代理人: 安娜

1.一種雙鈣鈦礦鐵電薄膜材料，其特征在于：

所述雙鈣鈦礦鐵電薄膜材料的化學式為Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆；

其中，0＜x≤0.5。

2.權利要求1所述的雙鈣鈦礦鐵電薄膜材料的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：制備Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆的穩定膠體；

S2：將所述S1制備得到的產物進一步制備得到所述Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆鐵電薄膜。

3.根據權利要求2所述的雙鈣鈦礦鐵電薄膜材料的制備方法，其特征在于：

所述S1具體包括：

S101：將硝酸鉍和乙二醇甲醚混合均勻，直至所述硝酸鉍完全溶解，得到第一混合物；

S102：將乙酸鎳和乙二醇甲醚混合均勻，直至所述乙酸鎳完全溶解后冷卻，得到第二混合物；

S103：在所述第一混合物中加入硝酸鐵并攪拌均勻，待硝酸鐵完全溶解后加入所述第二混合物；

S104：在所述S103得到的產物中加入檸檬酸并攪拌均勻，待所述檸檬酸完全溶解后加入鉬酸銨并攪拌第一預設時間，直至得到穩定的暗紅色澄清透明膠體，即Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆穩定膠體；

其中，所述鉬酸銨與所述乙酸鎳摩爾比為(1-x)：x。

4.根據權利要求2所述的雙鈣鈦礦鐵電薄膜材料的制備方法，其特征在于：

所述S2具體包括：

S201：在Si基片上旋涂所述Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆穩定膠體，形成Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆濕凝膠膜；

S202：將所述Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆濕凝膠膜進行熱處理，之后得到所述Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆膜；

S203：將所述Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆膜進行熱處理，之后得到Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆鐵電薄膜。

5.根據權利要求4所述的雙鈣鈦礦鐵電薄膜材料的制備方法，其特征在于：

所述S202中，所述熱處理依次包括第一、第二和第三熱處理；

其中，

第一熱處理的溫度為150℃，時間為5min；

第二熱處理的溫度為400℃，時間為10min；

第三熱處理的溫度為600℃，時間為3min。

6.根據權利要求5所述的雙鈣鈦礦鐵電薄膜材料的制備方法，其特征在于：

重復所述S201和所述S202中的操作，直至所述Bi₂FeMo_1-xNi_xO₆膜的厚度大于或等于400nm。

7.根據權利要求4所述的雙鈣鈦礦鐵電薄膜材料的制備方法，其特征在于：

所述S203中，所述熱處理的溫度為700℃～730℃，時間為10min。

8.根據權利要求4所述的雙鈣鈦礦鐵電薄膜材料的制備方法，其特征在于：

所述S201中，所述旋涂具體包括：旋涂轉速為2900r/min～3100r/min，旋涂時間為20s。