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[發明專利]基于馬赫曾德爾干涉儀人工表面等離子體濾波器在審

專利信息
申請號: 201710916943.2 申請日: 2017-09-30
公開(公告)號: CN109599647A 公開(公告)日: 2019-04-09
發明(設計)人: 肖丙剛;陳靜 申請(專利權)人: 中國計量大學
主分類號: H01P1/201 分類號: H01P1/201
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 310018 浙江省*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 人工表面等離子體 濾波器 金屬薄層 干涉 激光雕刻機 槽型結構 工作頻段 工作頻率 介質基板 平面結構 周期陣列 干涉儀 頻率點 體積小 附著 緊湊 微波 雕刻
【權利要求書】:

1.基于馬赫曾德爾干涉儀人工表面等離子體濾波器,包括:介質基板(1),金屬銅薄膜(2),其中,金屬銅薄膜(2)由共面波導饋電帶線、共面波導擴口接地面、梯形槽排列和馬赫增德爾干涉儀結構的人工表面等離子體波導帶組成,所述的共面波導饋電帶線、共面波導擴口接地面、梯形槽排列以及馬赫增德爾干涉儀結構的人工表面等離子體波導帶印刷在介質基板表面,所述馬赫增德爾干涉儀結構的人工表面等離子體波導帶位于介質基板的中間地帶,梯形槽排列分別位于馬赫增德爾干涉儀結構的人工表面等離子體波導帶的左右兩端并與其緊密相連,共面波導饋電帶線與梯形槽緊密連接,共面波導擴口接地面位于共面波導饋電帶線的兩側,并與其有間隙。

2.根據權利要求1所述的基于馬赫曾德爾干涉儀人工表面等離子體濾波器,其特征在于:介質基板(1)的尺寸為:表面積為362.5x27.5mm,厚度為0.05mm,金屬銅薄膜(2)的厚度為0.018mm。

3.根據權利要求1所述的基于馬赫曾德爾干涉儀人工表面等離子體濾波器,其特征在于:在金屬銅薄膜(2)上刻周期陣列的槽,槽的尺寸為:槽深h=2.4mm,槽周期d=2.5mm,槽寬a=1mm,長w=3.4mm。

4.根據權利要求1所述的基于馬赫曾德爾干涉儀人工表面等離子體濾波器,其特征在于:本發明共包含3個區域,區域Ⅰ為共面波導結構,區域Ⅱ梯形槽和擴口接地面結構,區域ⅢMZI結構。

5.根據權利要求1所述的基于馬赫曾德爾干涉儀人工表面等離子體濾波器,其特征在于:區域Ⅰ共面波導的尺寸為:共面波導導線兩邊縫隙g=0.33mm,共面波導中間導線寬度為2w,其中w=3.4mm,接地帶尺寸w0=20mm。

6.根據權利要求1所述的基于馬赫曾德爾干涉儀人工表面等離子體濾波器,其特征在于:區域Ⅱ梯形槽和擴口接地面的尺寸,其中到為梯形槽的槽深深度,分別為:=0.2mm,=0.4mm,=0.6mm,=0.8mm,=1.0mm,=1.2mm,=1.4mm,=1.6mm,=1.8mm,=2.0mm,=2.2mm,=2.4mm;為擴口接地面曲線的起點坐標為(10,3.73),為擴口接地面曲線的起點坐標為(50,23.73)。

7.根據權利要求1所述的基于馬赫曾德爾干涉儀人工表面等離子體濾波器,其特征在于:區域Ⅲ的尺寸為:上下兩條干涉臂之間的夾角,上干涉臂的長度尺寸:為槽周期d的6倍,為槽周期d的10倍,下干涉臂的外環半徑R=11mm。

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