[發明專利]一種光信號的處理裝置及方法

有效

• 申請號: 201710909289.2
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN109581831B
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 孫建超;忻斌杰;李運鋒
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00;G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種光信號的處理裝置，其特征在于，包括測量光能輸出單元、自參考棱鏡單元、信號測量接收單元和光能損耗單元，所述測量光能輸出單元將光信號采集至自參考棱鏡單元，所述光信號經自參考棱鏡單元進入光能損耗單元損耗部分光信號后再進入信號測量接收單元；

其中，所述自參考棱鏡單元用于輸出第一部分光和第二部分光，所述第一部分光的級次大于或大于等于或部分大于所述第二部分光的級次，以及，所述光能損耗單元用于損耗所述第二部分光。

2.如權利要求1所述的光信號的處理裝置，其特征在于，所述光信號為衍射光。

3.如權利要求2所述的光信號的處理裝置，其特征在于，所述自參考棱鏡單元包括自參考棱鏡，所述自參考棱鏡將收集的衍射光的衍射級次旋轉疊加后輸出第一部分光和第二部分光。

4.如權利要求1所述的光信號的處理裝置，其特征在于，所述測量光能輸出單元包括對準光柵標記和對準物鏡，所述對準物鏡將經過對準光柵標記的光信號采集至自參考棱鏡單元。

5.如權利要求1所述的光信號的處理裝置，其特征在于，所述光能損耗單元包括光學分光器件和消光設備，所述光學分光器件將所述光信號或部分所述光信號分為透射光和折射光，所述折射光投射到消光設備中。

6.如權利要求5所述的光信號的處理裝置，其特征在于，所述光學分光器件包括光學分光棱鏡和基板，所述光學分光棱鏡安裝在基板上。

7.如權利要求6所述的光信號的處理裝置，其特征在于，所述光學分光棱鏡的邊長L滿足如下公式：

L＝F tan(θ)

其中F為對準物鏡的焦距，θ為入射角。

8.如權利要求7所述的光信號的處理裝置，其特征在于，所述入射角θ滿足如下公式：

其中λ為波長最大光的波長值，X_P為對準光柵標記的周期。

9.如權利要求1所述的光信號的處理裝置，其特征在于，所述光能損耗單元包括光學轉折器件，所述光學轉折器件將所述光信號的部分光路偏折。

10.如權利要求9所述的光信號的處理裝置，其特征在于，所述光學轉折器件包括光學楔板，所述光學楔板為部分鏤空。

11.如權利要求10所述的光信號的處理裝置，其特征在于，所述光學楔板對不同波長的光的轉折角度滿足如下公式：

其中β表示光的偏轉角度，n表示光學楔板的折射率，表示光學楔板的楔角。

12.如權利要求1所述的光信號的處理裝置，其特征在于，所述信號測量接收單元包括分光單元和信號接收處理單元，所述光信號經分光單元分光后進入信號接收處理單元。

13.如權利要求12所述的光信號的處理裝置，其特征在于，所述分光單元為PBS棱鏡，所述第一部分光和透射光被所述PBS棱鏡分為S偏振光和P偏振光。

14.如權利要求13所述的光信號的處理裝置，其特征在于，所述信號接收處理單元包括多個探測器和多個探測物鏡，所述探測物鏡將所述S偏振光和P偏振光收集到的探測器上。

15.如權利要求1所述的光信號的處理裝置，其特征在于，所述光能損耗單元為光學衰減片，所述光學衰減片對中間的光信號進行能量衰減。